SiC көп қалталы қабылдағыш

Semicorex SiC Multi Pocket Susceptor негізі термиялық тұрақтылығымен және термиялық соққыға төзімділігімен танымал ультра жоғары таза изотропты графит болып табылады. Бұл негізгі материал мұқият бақыланатын CVD-қондырылған SiC жабынын қолдану арқылы одан әрі жетілдіріледі. Бұл комбинация қасиеттердің бірегей синергиясын қамтамасыз етеді:

Теңдесі жоқ химиялық төзімділік:SiC беткі қабаты эпитаксиалды өсу процестеріне тән жоғары температурада да тотығуға, коррозияға және химиялық шабуылға ерекше төзімділік көрсетеді. Бұл инерттілік SiC Multi Pocket Susceptor құрылымының тұтастығы мен бетінің сапасын сақтай отырып, ластану қаупін азайтып, жұмыс істеу мерзімін ұзартады.

Ерекше термиялық тұрақтылық және біркелкілік:Изотропты графиттің тұрақтылығы біркелкі SiC жабынымен біріктіріліп, жылуды сезгіштің беті бойынша біркелкі бөлуге кепілдік береді. Бұл біркелкілік эпитаксия кезінде пластинка бойынша біртекті температура профиліне қол жеткізуде маңызды болып табылады, бұл тікелей жоғары кристалдық өсуге және пленка біркелкілігіне айналады.

Жақсартылған процесс тиімділігі:SiC Multi Pocket Susceptor беріктігі мен ұзақ қызмет ету мерзімі процестің тиімділігін арттыруға ықпал етеді. Тазалау немесе ауыстыру үшін қысқартылған тоқтау уақытының жоғарылауы жоғары өткізу қабілетіне және иеленудің жалпы құнының төмендеуіне, жартылай өткізгіштерді өндіру орталарын талап ететін шешуші факторларға әкеледі.

SiC Multi Pocket Susceptor-дың жоғары қасиеттері эпитаксиалды пластинаны өндірудегі нақты артықшылықтарға тікелей аударылады:

Жақсартылған вафель сапасы:Жақсартылған температураның біркелкілігі мен химиялық инерттілігі эпитаксиалды қабаттағы ақауларды азайтуға және кристалл сапасын жақсартуға ықпал етеді. Бұл соңғы жартылай өткізгіш құрылғылардың өнімділігі мен өнімділігінің жақсаруына тікелей әсер етеді.

Құрылғы өнімділігін арттыру:Эпитаксия кезінде қоспа профильдері мен қабат қалыңдығын нақты бақылауға қол жеткізу мүмкіндігі құрылғының жұмысын оңтайландыру үшін өте маңызды. SiC Multi Pocket Susceptor қамтамасыз ететін тұрақты және біркелкі платформа өндірушілерге арнайы қолданбалар үшін құрылғы сипаттамаларын дәл реттеуге мүмкіндік береді.

Қосымша қолданбаларды қосу:Жартылай өткізгіштер өнеркәсібі құрылғының кішірек геометриялары мен күрделі архитектураларына қарай итермелейтіндіктен, жоғары өнімді эпитаксиалды пластинкаларға сұраныс өсуде. Semicorex SiC Multi Pocket Susceptor дәл және қайталанатын эпитаксиалды өсу үшін қажетті платформаны қамтамасыз ету арқылы осы жетістіктерге қол жеткізуде шешуші рөл атқарады.