SiC эпитаксиялық рецепторы

Дәлдікпен жасалған және сенімділік үшін жасалған, SiC эпитаксистік қабылдағыш жоғары коррозияға төзімділік, жоғары жылу өткізгіштік, термиялық соққыға төзімділік және жоғары химиялық тұрақтылықпен ерекшеленеді, бұл оның эпитаксиалды атмосферада тиімді жұмыс істеуіне мүмкіндік береді. Сондықтан, SiC эпитаксистік қабылдағыш негізгі болып саналады және MOCVD жабдығындағы маңызды компонент. Semicorex сапалы өнімдерді бәсекеге қабілетті бағамен қамтамасыз етуге ұмтылады, біз сіздің Қытайдағы ұзақ мерзімді серіктесіңіз болуды асыға күтеміз.

Сұрау жіберу

Өнім Сипаттамасы

SiC эпитаксистік қабылдағыш MOCVD жабдығында монокристалды субстраттарды қолдау және жылыту үшін қолданылатын маңызды компонент болып табылады. Оның термиялық тұрақтылық және термиялық біркелкілік сияқты жоғары өнімділік параметрлері эпитаксиалды материалдың өсу сапасында шешуші рөл атқарады, жұқа қабықша материалдарында біркелкі және тазалықтың жоғары деңгейін қамтамасыз етеді.

SiC Epitaxy Susceptor жоғары температура мен коррозиялық жұмыс орталарында тиімді қорғанысты қамтамасыз ететін тамаша тығыздыққа ие. Сонымен қатар, оның бетінің тегістігінің жоғары деңгейі субстрат бетіндегі монокристалдардың өсуіне қойылатын талаптарға тамаша жауап береді.

SiC Epitaxy Susceptor ішіндегі термиялық кеңею айырмашылықтарының минималды коэффициенті эпитаксиалды субстрат пен жабын материалы арасындағы байланыс беріктігін айтарлықтай арттырады, осылайша жоғары температурадағы термиялық циклді бастан кешіргеннен кейін крекинг ықтималдығын азайтады.

Сонымен қатар, ол жоғары жылу өткізгіштігін көрсетеді, бұл чиптің өсуі үшін жылдам және біркелкі жылудың таралуын жеңілдетеді. Сонымен қатар, оның жоғары балқу температурасы, температураға төзімділігі, тотығуға төзімділігі және коррозияға төзімділігі жоғары температурада және коррозияға ұшыраған жұмыс орталарында тұрақты жұмыс істеуге мүмкіндік береді.

MOCVD жабдығының реакция камерасының маңызды құрамдас бөлігі ретінде SiC эпитаксистік қабылдағыш жоғары температураға төзімділік, біркелкі жылу өткізгіштік, жақсы химиялық тұрақтылық және термиялық соққыға күшті төзімділік сияқты артықшылықтарға ие болуы керек. Semicorex SiC Epitaxy Susceptor осы талаптардың барлығына жауап береді.