SiC дискінің қабылдағышы

Сапа мен инновацияға терең берілгендікпен Semicorex ультра таза SiC Disc Susceptor эпитакси, MOCVD және RTP жабдықтарында өнімділіктің жаңа стандартын белгілейді. Ерекше термиялық соққыға төзімділікті, жоғары жылу өткізгіштікті, керемет химиялық төзімділікті және өте жоғары тазалықты біріктіре отырып, бұл инженерлік құрамдас бөліктер жартылай өткізгіш өндірушілерге теңдесі жоқ тиімділікке, сенімділікке және өнім сапасына қол жеткізуге мүмкіндік береді. Semicorex-тің теңшелетін шешімдері термиялық өңдеудің әрбір қолданбасының бірегей талаптарын қанағаттандыру үшін жасалған оңтайландырылған, дәлдікпен жасалған компоненттерден пайда алуын қамтамасыз етеді.

Керемет термиялық соққыға төзімділік:SiC Disc Susceptor RTP және басқа да жоғары температура процестерінде жиі кездесетін температураның жылдам ауытқуларына төтеп беруде керемет. Бұл ерекше термиялық соққыға төзімділік құрылымның тұтастығы мен ұзақ қызмет ету мерзімін қамтамасыз етеді, кенеттен температураның өзгеруіне байланысты зақымдану немесе істен шығу қаупін азайтады және термиялық өңдеу жабдығының сенімділігін арттырады.

Жоғары жылу өткізгіштік:Тиімді жылу беру термиялық өңдеу қолданбаларында өте маңызды. SiC Disc Susceptor-дың тамаша жылу өткізгіштігі температураны дәл бақылау және процестің біркелкілігі үшін маңызды жылдам және біркелкі қыздыру мен салқындатуды қамтамасыз етеді. Бұл процестің тиімділігін арттыруға, цикл уақытын қысқартуға және жоғары сапалы жартылай өткізгіш пластинкаларға әкеледі.

Ерекше химиялық төзімділік:SiC Disc Susceptor эпитаксия, MOCVD және RTP процестерінде қолданылатын коррозиялық және реактивті химиялық заттардың кең ауқымына тамаша төзімділікті қамтамасыз етеді. Бұл химиялық инерттілік негізгі графитті деградациядан қорғайды, технологиялық ортаның ластануын болдырмайды және ұзақ жұмыс уақытында тұрақты өнімділікті қамтамасыз етеді.

Ультра жоғары тазалық: SiC Disc Susceptor ластану мүмкіндігін болдырмайтын және ақаусыз жартылай өткізгіш құрылғылардың өндірісін қамтамасыз ететін графит пен SiC жабыны үшін өте жоғары тазалық стандарттарына сай жасалған. Бұл тазалық міндеттемесі жоғары өнімділік пен құрылғының жақсартылған өнімділігін білдіреді.

Күрделі пішіндердің қолжетімділігі:Semicorex-тегі жетілдірілген өндірістік мүмкіндіктер SiC Disc Susceptor-ды тұтынушының арнайы талаптарына бейімделген күрделі пішіндерде шығаруға мүмкіндік береді. Бұл икемділік әртүрлі термиялық өңдеу қолданбаларының нақты қажеттіліктерін қанағаттандыратын, процестің тиімділігін және жабдықтың үйлесімділігін арттыратын тапсырыс шешімдерін жобалауға мүмкіндік береді.

Тотықтырғыш атмосферада қолдануға болады:Мықты CVD SiC жабыны тотығудан тамаша қорғауды қамтамасыз етеді, SiC Disc Susceptor тотықтырғыш орталарда сенімді жұмыс істеуге мүмкіндік береді. Бұл олардың жан-жақтылығы мен бейімделгіштігін қамтамасыз ете отырып, жылу процестерінің кең ауқымына қолдану мүмкіндігін кеңейтеді.

Мықты, қайталанатын өнімділік:Жоғары температура мен вакуумды орталарға арналған, SiC Disc Susceptor берік және қайталанатын өнімділікті ұсынады. Оның беріктігі мен консистенциясы оларды термиялық өңдеудің маңызды қолданбалары үшін тамаша етеді, тоқтау уақытын, техникалық қызмет көрсету шығындарын азайтады және ұзақ мерзімді пайдалану сенімділігін қамтамасыз етеді.

Semicorex термиялық өңдеу жабдығының әртүрлі қажеттіліктерін қанағаттандыру үшін CVD SiC жабыны бар компоненттерді теңшеуге маманданған, соның ішінде:

Диффузорлар:Газ таратудың біркелкілігін және процестің дәйектілігін арттыру.

Оқшаулағыштар:Жоғары температуралы ортада жылу оқшаулау мен қорғауды қамтамасыз етіңіз.

Басқа арнайы жылу құрамдастары:Арнайы технологиялық талаптарды қанағаттандыруға және жабдық өнімділігін оңтайландыруға арналған арнайы шешімдер.