SIC жабыны тегіс бөлігі

SEMCOREX SIC жабыны жалпақ бөлігі - бұл SIC Epitaxy процесіне арналған жоғары сапалы сапалы графит компоненті. Оның негізгі функциясы - эпитаксиальды өсу кезеңінде бірыңғай ауа ағынын жеңілдету және эпитаксиалды өсу кезеңінде дәйекті газ таратуды қамтамасыз ету, оны SIC жартылай өткізгіштерінде бөлшектеуге мүмкіндік береді. Softorex таңдауды таңдау жартылай өткізгіш өнеркәсіпке арналған жоғары сапалы және дәлдікке негізделген шешімдерге кепілдік береді.

SIC жабыны жоғары температураға, химиялық коррозияға және термиялық деформацияға ерекше төзімділікті қамтамасыз етеді, бұл ортада ұзақ мерзімді көрсеткіштерді қамтамасыз етеді. Графит базасы компоненттің құрылымдық тұтастығын жақсартады, ал біркелкі SIC жабыны сезімтал эпитакси процестеріне жоғары сапалы бетіне өте маңызды қамтамасыз етеді. Материалдардың бұл комбинациясы SIC жабыны тегіс бөлігін бірыңғай эпитаксиалды қабаттарға қол жеткізу және жалпы өндіріс тиімділігін оңтайландыру үшін сенімді шешім жасайды.

Керемет жылу өткізгіштік пен графиттің тұрақтылығы эпитаксиальды жабдыққа компонент ретінде айтарлықтай артықшылықтар береді. Алайда, таза графитті пайдалану бірнеше мәселелерге әкелуі мүмкін. Өндіріс кезінде, коррозиялық газдар мен металл-органикалық қалдықтар графит негізінің коррозияға және нашарлауына әкелуі мүмкін, бұл оның қызмет ету мерзімін айтарлықтай төмендетеді. Сонымен қатар, түсіп кететін графит ұнтағы чипті ластауы мүмкін, бұл базаны дайындау кезінде осы проблемаларды шешу үшін қажет етеді.

Қаптау технологиясы бұл мәселелерді беттік ұнтақты бекіту, жылу өткізгіштікті жақсартып, жылу бөлуді теңдестіру арқылы осы мәселелерді тиімді азайта алады. Бұл технология графит базасының беріктігін қамтамасыз ету үшін өте маңызды. Қолданбаның ортасына және нақты пайдалану талаптарына байланысты, беттік жабын келесі сипаттамаларға ие болуы керек:

1. Жоғары тығыздық және толық қамту: графит базасы жоғары температуралы, коррозиялық ортада жұмыс істейді және толығымен жабылуы керек. Қаптау тиімді қорғаныс беру үшін тығыз болуы керек.

2 Сондықтан, қаптау процесі базаның бастапқы тегістеуі керек, қапталдағы беттің формасы біркелкі екенін қамтамасыз етуі керек.

3. Мықты байланыстыру күші: графит негізі мен жабыны арасындағы байланысты жақсарту үшін жылу кеңейту коэффициенттерінің айырмашылығын азайту үшін өте маңызды. Бұл жетілдіру жоғары және төмен температуралы жылу циклынан өткеннен кейін де жабынның бұзылуын қамтамасыз етеді.

4. Жоғары жылу өткізгіштік: оңтайлы чиптің өсуіне арналған графит негізі жылдам және біркелкі жылу бөлуді қамтамасыз етуі керек. Демек, жабынның материалында жоғары жылу өткізгіштік болуы керек.

5. Жоғары балқу және коррозияға төзімділік: жабыны жоғары температуралы және коррозиялық ортада жұмыс істеуге қабілетті болуы керек.

Осы негізгі сипаттамаларға назар аудара отырып, эпитаксиалды жабдыққа графиттік компоненттердің ұзақ өмір сүруі мен жұмысын едәуір жақсартуға болады.

Жетілдірілген өндірістік әдістермен, Semicorex нақты технологиялық талаптарға сай келетін жеке дизайндар жеткізеді. SIC жабыны тегіс бөлігі жартылай өткізгіш материалдардағы жетістікке жетуді көрсететін өлшемді дәлдік пен беріктік үшін қатаң тексерілген. Жаппай өндірісте немесе зерттеу параметрлерінде пайдаланылған ба, бұл компонент нақты бақылауды және SIC Epitaxy қосымшаларында жоғары өнімді қамтамасыз етеді.