Планетарлық сезімталдық

Subicorex планетарлық сезімтеті - Aixron G5 + жабдық үшін арнайы жасалған жартылай өткізгіш эпитакси реакторларына арналған ажырамас компонент. Жоғары тазалық графиттен жасалған жәнекремний карбидімен қапталған (SIC), бұл сезімтал жоғары термиялық тұрақтылыққа, ерекше химиялық тұрақтылықты және жоғары температуралы ортадағы теңдесі жоқ өнімділікті қамтамасыз етеді.

Aixtron G5 + Epitaxy Reactor GAN, SIC, SIC және басқа да жартылай өткізгіштің өсу процестеріндегі саладағы эталон ретінде тұрады. Планетарлық сезімталдық - газ ағынын оңтайландыру, газ ағынын оңтайландыру, сонымен қатар вафлидің дәл айналуын қамтамасыз ету, сонымен қатар эпитаксиальды қабаттардың біркелкі болуын қамтамасыз ету. Оның инновациялық дизайны процесті қайталануды айтарлықтай арттырады, бұл оны жоғары көлемді өндірістік ортаға тамаша таңдау жасайды.

Негізгі ерекшеліктері  

- Жетілдірілген материал құрамы: жоғары тазалық графиттен жасалған, мицкамен қапталған, күшті беріктік пен қатал процесс жағдайына төзімділікті қамтамасыз етеді.  

- Оңтайландырылған жылу өнімділігі: біркелкі жылу бөлуді қамтамасыз етеді, эпитаксиальды қабаттың жоғары дәлдікті өсуі үшін сыни.  

- Химиялық тұрақтылық: SIC жабыны графитті тотығуды болдырмайды, сезімталдық тұрғысынан және процесстің тазалығын сақтауды болдырмайды.  

- Дәлдік инжиниринг: Aixron G5 + жүйелерінің қатаң талаптарын қанағаттандыруға арналған, бұлдырсыз интеграция және реактордың оңтайлы тиімділігін қамтамасыз ету.  

- Жоғары бетінің біркелкілігі: бөлшектердің ластануын азайтады, вафлидің жоғары сапасын қолдайды және жартылай өткізгіш өндірісінде жоғары өнімділік.  

Біздің планетарлық сезімталдық  

- Қызмет мерзімі:Sic жабыныедәуір азаяды, нәтижесінде ауыстыру жиілігі төмен және операциялық шығындар азаяды.  

- Технологиялық тұрақтылықты жақсарту: жоғары сапалы вафли өндірісіне әкелетін дәйекті жылу және минималды термиялық градиенттерді қамтамасыз етеді.  

- Сыйыссыздық және теңшеу: стандартты және реттелген дизайнда белгілі Aixtron G5 + процесінің талаптарына сәйкес келеді.  

ГрафигіБөлшектер жартылай өткізгіш процесінде таптырмайтын және өте маңызды рөл атқарады. Графит материалдарының сапасы дайын өнімнің сапасына үлкен әсер етеді. Біздің графиттік пакеттік консистенция және материалдық біртектілікті өндіріс процесі арқылы бақылау және кепілдендіруге болады.

1. Кішкентай партия өндірісі, карбонизация пеші тек 50 текше метр болатын кішкентай пешті пайдаланады

2. Материалдың әр бөлігі бақыланып, бақыланады

3. Температура айырмашылығының өте аз мөлшерде сақталуын қамтамасыз ету үшін пештің кеңістігінде температураны бақылау

4. Температура айырмашылығының өте аз мөлшерде сақталуын қамтамасыз ету үшін материалдағы көп нүктелік температураны бақылау

Subicorex планетарлық сезімтеті - Aixtron G5 + реакторларының премиум шешімі - бұл заманауи жылу тұрақтылығы, химиялық тұрақтылықты және дәл орындауды ұсынатын реакторлар. Жартылай өткізгішті өндірудің ең қажеті үшін жобаланған, ол вафлидің жоғары өнімділігін арттырады, ластану қаупін азайтады және жабдықтардың қызмет ету мерзімін ұзартады. Сақталмаған нәтижелер үшін эпитакси жүйесін жоғары деңгейлі сезімталмен жаңартыңыз.