Epi-SiC рецепторы

Semicorex Epi-SiC Susceptor жоғары температураға төзімділіктің, химиялық инерттіліктің және жоғары термиялық диффузияның қосындысы болып табылады, ол эпитаксиалды өсу әрекеттерінің синонимі болатын қарқынды жағдайлар алдында тұрақтылық пен тиімділіктің парагоны ретінде тұр. SiC жабынының қолданылуы Epi-SiC Susceptor термиялық атрибуттарын айтарлықтай арттырады. Бұл жақсарту пластиналарды қыздыру үшін қажетті біркелкі жылу бөлуді жеңілдетеді, жартылай өткізгіш пластиналар бойынша дәйекті, жоғары сапалы эпитаксиалды қабаттарды тұндыру үшін маңызды.

Вафельді эпитаксиалды процестердің талаптарын қанағаттандыру үшін арнайы жасалған Epi-SiC Susceptor пластиналарды пеш ортасында үздіксіз тасымалдауды қамтамасыз етеді. Оның берік дизайны пластинаның ығысуына немесе компромисске қарсы қорғаныш болып табылады, осылайша эпитаксиалды қабат дамуының барлық сыни кезеңдерінде зақымдану жиілігін азайтады. Сонымен қатар, Epi-SiC Сусцепторы астындағы графиттік субстрат үшін қорғаныш тосқауыл ретінде әрекет етеді, оны химиялық әрекеттесулерден және эпитаксиалды процестер тудыруы мүмкін қажалудан қорғайды.

Серпімді графит өзегін қорғаныс SiC жабыны бар біріктіру Epi-SiC Susceptor өнімділік көрсеткіштерін нығайтып қана қоймайды, сонымен қатар оның қызмет ету мерзімін айтарлықтай ұзартады. Нәтиже – жартылай өткізгіштерді шығаратын кәсіпорындар үшін тұрақты операциялық үнемдеу түріндегі дивидендтер әкелетін инвестиция, Epi-SiC Susceptor-ды өндірістік операцияларын оңтайландыруды қалайтындар үшін дұрыс таңдау ретінде орналастырады.