Aixtron G5 үшін 6'' вафельді тасымалдаушы

Aixtron G5-ке арналған Semicorex 6'' вафельді тасымалдаушы, көбінесе сезімталдық деп аталады, жоғары температурада өңдеу кезінде жартылай өткізгіш пластиналарды сенімді ұстау арқылы маңызды рөл атқарады. Қабырғалар пластинкалардың бекітілген күйде қалуын қамтамасыз етеді, бұл қабаттың біркелкі тұнбасы үшін өте маңызды:

Жылулық басқару:

Aixtron G5 үшін 6 дюймдік вафельді тасымалдаушы пластинаның беті бойынша біркелкі жылытуды және салқындауды қамтамасыз етуге арналған, бұл жоғары сапалы жартылай өткізгіш қабаттарды жасау үшін қолданылатын эпитаксиалды өсу процестері үшін өте маңызды.

Эпитаксиалды өсу:

SiC және GaN қабаттары:

Aixtron G5 платформасы негізінен SiC және GaN қабаттарының эпитаксиалды өсуі үшін қолданылады. Бұл қабаттар жоғары электронды-ұтқыр транзисторларды (HEMTs), жарықдиодты шамдарды және басқа жетілдірілген жартылай өткізгіш құрылғыларды өндіруде негізгі болып табылады.

Дәлдік және біркелкілік:

Эпитаксиалды өсу процесінде талап етілетін жоғары дәлдік пен біркелкілікке Aixtron G5 үшін 6 дюймдік вафельді тасымалдағыштың ерекше қасиеттері ықпал етеді. Тасымалдаушы өнімділігі жоғары жартылай өткізгіш құрылғыларға қажетті қатаң қалыңдық пен композицияның біркелкілігіне қол жеткізуге көмектеседі.

Артықшылықтары:

Жоғары температура тұрақтылығы:

Төтенше температураға төзімділік:

Aixtron G5-ке арналған 6 дюймдік вафельді тасымалдаушы 1600°C-тан асатын өте жоғары температураға төзе алады. Бұл тұрақтылық ұзақ уақыт бойы тұрақты жоғары температураны қажет ететін эпитаксиалды процестер үшін өте маңызды.

Жылулық тұтастық:

Aixtron G5-ке арналған 6 дюймдік пластинаның осындай жоғары температураларда құрылымдық тұтастығын сақтау қабілеті тұрақты өнімділікті қамтамасыз етеді және жартылай өткізгіш қабаттардың сапасын бұзуы мүмкін термиялық деградация қаупін азайтады.

Өте жақсы жылу өткізгіштік:

Жылу бөлу:

SiC жоғары жылу өткізгіштігі біркелкі температура профилін қамтамасыз ете отырып, пластинаның беті бойынша тиімді жылу алмасуды жеңілдетеді. Бұл біркелкілік эпитаксиалды қабаттардағы ақаулар мен біркелкі еместерге әкелуі мүмкін жылу градиенттерін болдырмау үшін өте маңызды.

Жетілдірілген процесті басқару:

Жақсартылған жылуды басқару эпитаксиалды өсу процесін жақсырақ басқаруға мүмкіндік береді, бұл ақаулары аз жоғары сапалы жартылай өткізгіш қабаттарды өндіруге мүмкіндік береді.

Химиялық төзімділік:

Коррозиялық ортамен үйлесімділік:

Aixtron G5-ге арналған 6 дюймдік вафельді тасымалдағыш сутегі және аммиак сияқты CVD процестерінде жиі қолданылатын коррозиялық газдарға ерекше төзімділікті қамтамасыз етеді. Бұл қарсылық графит субстратын химиялық шабуылдан қорғау арқылы вафли тасымалдаушылардың қызмет ету мерзімін ұзартады.

Қысқартылған техникалық қызмет көрсету шығындары:

Aixtron G5 үшін 6 дюймдік пластинаның беріктігі техникалық қызмет көрсету және ауыстыру жиілігін азайтады, бұл операциялық шығындардың төмендеуіне және Aixtron G5 жабдығы үшін жұмыс уақытының артуына әкеледі.

Жылулық кеңеюдің төмен коэффициенті (CTE):

Минималды жылу кернеуі:

SiC төмен CTE эпитаксиалды өсу процестеріне тән жылдам қыздыру және салқындату циклдері кезінде термиялық кернеуді азайтуға көмектеседі. Жылу кернеуінің бұл төмендеуі құрылғының істен шығуына әкелуі мүмкін пластинаның жарылуы немесе деформациялану ықтималдығын азайтады.

Aixtron G5 жабдығымен үйлесімділік:

Арнайы дизайн:

Aixtron G5 үшін Semicorex 6 дюймдік вафельді тасымалдаушы Aixtron G5 жабдығымен үйлесімді болу үшін арнайы әзірленген, бұл оңтайлы өнімділік пен үздіксіз интеграцияны қамтамасыз етеді.

Максималды өнімділік:

Бұл үйлесімділік Aixtron G5 жүйесінің өнімділігі мен тиімділігін барынша арттырып, оған қазіргі заманғы жартылай өткізгіштерді өндіру процестерінің қатаң талаптарын қанағаттандыруға мүмкіндік береді.