Semicorex жартылай өткізгіш салалардағы кремний карбиді қабаттарына бағытталған OEM жартылай дайындау құралдары мен пластинаны өңдеу компоненттері үшін жартылай өткізгіштерге арналған керамика ұсынады. Біз көптеген жылдар бойы вафельді тасымалдау науасын өндіруші және жеткізуші болдық. Біздің вафельді тасымалдау науасы жақсы баға артықшылығына ие және еуропалық және американдық нарықтардың көпшілігін қамтиды. Біз сіздің Қытайдағы ұзақ мерзімді серіктес болуды асыға күтеміз.
Эпитаксия немесе MOCVD немесе вафли өңдеу сияқты жұқа қабықша тұндыру фазалары үшін ғана емес, Semicorex пластиналарды қолдау үшін пайдаланылатын ультра таза керамикалық тасымалдағышты қамтамасыз етеді. Процестің негізінде, MOCVD үшін вафельді тасымалдаушы науа алдымен тұндыру ортасына ұшырайды, сондықтан ол жоғары жылу мен коррозияға төзімділікке ие. SiC жабыны бар тасымалдаушы сонымен қатар жоғары жылу өткізгіштікке және тамаша жылу тарату қасиеттеріне ие.
Вафельді тасымалдау науасы туралы көбірек білу үшін бүгін бізге хабарласыңыз.
Вафельді тасымалдаушы науаның параметрлері
Техникалық қасиеттері |
||||
Индекс |
Бірлік |
Мән |
||
Материал атауы |
Реакция агломерленген кремний карбиді |
Қысымсыз агломерленген кремний карбиді |
Қайта кристалданған кремний карбиді |
|
Құрамы |
RBSiC |
SSiC |
R-SiC |
|
Көлемді тығыздық |
г/см3 |
3 |
3,15 ± 0,03 |
2,60-2,70 |
Иілу күші |
МПа (кпси) |
338(49) |
380(55) |
80-90 (20°C) 90-100(1400°C) |
Қысу күші |
МПа (кпси) |
1120(158) |
3970(560) |
> 600 |
Қаттылық |
Түйме |
2700 |
2800 |
/ |
Төзімділікті бұзу |
МПа м1/2 |
4.5 |
4 |
/ |
Жылу өткізгіштік |
В/м.к |
95 |
120 |
23 |
Жылулық кеңею коэффициенті |
10-6.1/°C |
5 |
4 |
4.7 |
Меншікті жылу |
Джоуль/г 0к |
0.8 |
0.67 |
/ |
Ауадағы максималды температура |
℃ |
1200 |
1500 |
1600 |
Серпімді модуль |
Gpa |
360 |
410 |
240 |
SSiC мен RBSiC арасындағы айырмашылық:
1. Агломерация процесі әртүрлі. RBSiC кремний карбидіне төмен температурада бос Si инфильтрациялау болып табылады, SSiC 2100 градуста табиғи шөгу арқылы түзіледі.
2. SSiC беті тегіс, тығыздығы жоғары және беріктігі жоғары, бетке қойылатын талаптары жоғарырақ кейбір тығыздағыштар үшін SSiC жақсырақ болады.
3. Әртүрлі PH және температура кезінде әр түрлі пайдаланылған уақыт, SSiC RBSiC қарағанда ұзағырақ
Вафельді тасымалдаушы науаның ерекшеліктері
- Қызмет мерзімін ұзарту үшін CVD кремний карбиді жабындары.
- Жоғары өнімді тазартылған қатты көміртектен жасалған жылу оқшаулау.
- Графиттік негіз де, кремний карбиді қабаты да жоғары жылу өткізгіштікке және тамаша жылу тарату қасиеттеріне ие.
- Жоғары тазалықтағы графит пен SiC жабыны саңылауларға төзімділік пен ұзағырақ қызмет ету мерзіміне арналған
Кремний карбиді керамикасының қол жетімді пішіндері:
● Керамикалық өзек / керамикалық түйреуіш / керамикалық плунжер
● Керамикалық түтік / керамикалық втулка / керамикалық гильза
● Керамикалық сақина / керамикалық шайба / керамикалық аралық
● Керамикалық диск
● Керамикалық табақ / керамикалық блок
● Керамикалық шар
● Керамикалық поршень
● Керамикалық саптама
● Керамикалық тигель
● Басқа арнайы керамикалық бөлшектер