Жартылай өткізгішті процесске арналған вафельді қайық

Semicorex тік / бағаналық және көлденең конфигурациялар үшін вафельді қайықтарды, тұғырларды және таңдамалы вафли тасымалдаушыларын қамтамасыз етеді. Біз көптеген жылдар бойы кремний карбиді жабын пленкасының өндірушісі және жеткізушісі болдық. Жартылай өткізгіш процесіне арналған вафли қайығымыз жақсы баға артықшылығына ие және еуропалық және американдық нарықтардың көпшілігін қамтиды. Біз сіздің Қытайдағы ұзақ мерзімді серіктес болуды асыға күтеміз.

Сұрау жіберу

Өнім Сипаттамасы

Жартылай өткізгіш процесіне арналған Semicorex SiC пластинкалы қайық, жартылай өткізгіш өндірісінде пластинаны өңдеу және қорғау үшін соңғы шешім. Жартылай өткізгішті өңдеуге арналған вафельді қайық жоғары сапалы кремний карбидінен жасалған, ол коррозияға жақсы төзімді және жоғары температура мен термиялық соққыға тамаша төзімді. Жетілдірілген керамика сыйымдылығы жоғары вафельді тасымалдаушылар үшін бөлшектер мен ластаушы заттарды жұмсарта отырып, тамаша термиялық төзімділік пен плазмалық төзімділікті қамтамасыз етеді.

Жартылай өткізгіш процеске арналған пластинаның параметрлері

Техникалық қасиеттері
Индекс	Бірлік	Мән
Материал атауы		Реакция агломерленген кремний карбиді	Қысымсыз агломерленген кремний карбиді	Қайта кристалданған кремний карбиді
Құрамы		RBSiC	SSiC	R-SiC
Көлемді тығыздық	г/см3	3	3,15 ± 0,03	2,60-2,70
Иілу күші	МПа (кпси)	338(49)	380(55)	80-90 (20°C) 90-100(1400°C)
Қысу күші	МПа (кпси)	1120(158)	3970(560)	> 600
Қаттылық	Түйме	2700	2800	/
Төзімділікті бұзу	МПа м1/2	4.5	4	/
Жылу өткізгіштік	В/м.к	95	120	23
Жылулық кеңею коэффициенті	10^-6.1/°C	5	4	4.7
Меншікті жылу	Джоуль/г 0к	0.8	0.67	/
Ауадағы максималды температура	℃	1200	1500	1600
Серпімді модуль	Gpa	360	410	240

Жартылай өткізгіш процеске арналған вафельді қайықтың ерекшеліктері

Жоғары ыстыққа төзімділік және жылу біркелкілігі
Тегіс бет үшін жұқа SiC кристалы қапталған
Химиялық тазалауға төзімділігі жоғары
Материал жарықтар мен деламинация болмайтындай етіп жасалған.