Қатты кремний карбиді фокустау сақинасы

Semicorex қатты кремний карбиді фокустау сақинасы тікелей байланыста болу үшін пластинаның сыртында стратегиялық түрде орналасқан жартылай өткізгіштер өндірісіндегі негізгі компонент болып табылады. Қолданылатын кернеуді пайдалану арқылы бұл сақина оны айналып өтетін плазманы фокустайды, осылайша вафлидегі процестің біркелкілігін арттырады. Химиялық бумен тұндыру кремний карбидінен (CVD SiC) ғана жасалған бұл фокус сақинасы жартылай өткізгіш өнеркәсібі талап ететін ерекше қасиеттерді қамтиды. Біз Semicorex компаниясында сапаны үнемділікпен сақтандыратын жоғары өнімді қатты кремний карбидті фокустау сақинасын өндіруге және жеткізуге бағытталғанбыз.

Сұрау жіберу

Өнім Сипаттамасы

Жартылай өткізгішті өндіруде Semicorex қатты кремний карбиді фокустау сақинасы оюлау процесі кезінде пластинаның тұтастығын сақтай отырып, қалқан ретінде әрекет ету арқылы шешуші рөл атқарады. Оның мұқият құрастырылған дизайны дәл және біркелкі оюды қамтамасыз етеді, осылайша жоғары өнімділік пен сенімділікті көрсететін өте күрделі жартылай өткізгіш элементтерді өндіруді жеңілдетеді.

Кремний карбиді вакуумдық реакция камерасында плазмаға әсер еткенде плазмалық коррозияға жоғары төзімділігіне байланысты фокустау сақинасы үшін таңдаулы материал болып табылады. Қатты кремний карбиді фокустау сақинасы бірнеше аспектілерде дәстүрлі кремнийден асып түседі, соның ішінде:

(1) Оңалту жылдамдығын азайтатын жоғары тығыздық.

(2) Жоғары жолақ аралығы және тамаша оқшаулау қасиеттері.

(3) Ерекше жылу өткізгіштік, төмен жылу кеңею коэффициенті және термиялық соққыға төзімділік.

(4) Механикалық әсерлерге тамаша төзімділікпен біріктірілген жоғары серпімділік.

(5) Керемет қаттылық, тозуға төзімділік және коррозияға төзімділік.

Кремний карбидінің өткізгіштігі мен ионды өңдеуге төзімділігі кремнийге ұқсас, қатты кремний карбиді фокустау сақинасын осы қолданба үшін тамаша материал етеді.

Semicorex қатты кремний карбиді фокустау сақинасы жартылай өткізгіштер өндірісі саласындағы заманауи шешім болып табылады. Ол CVD SiC бірегей қасиеттерін қолдана отырып, жартылай өткізгіштер технологиясының дамуына айтарлықтай үлес қоса отырып, сенімді, жоғары өнімді ою процестерін жеңілдетеді.