CVD-SiC душ басы

Semicorex CVD-SiC душ басы беріктікті, тамаша термиялық басқаруды және химиялық деградацияға төзімділікті қамтамасыз етеді, бұл оны жартылай өткізгіштер өнеркәсібіндегі күрделі CVD процестері үшін қолайлы таңдау жасайды. Semicorex сапалы өнімдерді бәсекеге қабілетті бағамен қамтамасыз етуге ұмтылады, біз сіздің Қытайдағы ұзақ мерзімді серіктесіңіз болуды асыға күтеміз.

Сұрау жіберу

Өнім Сипаттамасы

CVD душ басы контекстінде CVD-SiC душ басы әдетте CVD процесі кезінде субстрат бетіне прекурсорлық газдарды біркелкі таратуға арналған. Душ басы әдетте субстраттың үстінде орналасады, ал прекурсорлық газдар оның бетіндегі шағын тесіктер немесе саптамалар арқылы ағып кетеді.

Душ басында қолданылатын CVD-SiC материалы бірнеше артықшылықтар береді. Оның жоғары жылу өткізгіштігі CVD процесі кезінде пайда болатын жылуды таратуға көмектеседі, бұл субстрат бойынша температураның біркелкі таралуын қамтамасыз етеді. Сонымен қатар, SiC химиялық тұрақтылығы оған CVD процестерінде жиі кездесетін коррозиялық газдар мен қатал орталарға төтеп беруге мүмкіндік береді.

CVD-SiC душ басының дизайны арнайы CVD жүйесі мен технологиялық талаптарға байланысты әр түрлі болуы мүмкін. Дегенмен, ол әдетте дәлдікпен бұрғыланған саңылаулар немесе ойықтар массиві бар пластина немесе диск тәрізді құрамдас бөліктен тұрады. Шұңқырдың үлгісі мен геометриясы субстрат беті бойынша біркелкі газ таралуы мен ағын жылдамдығын қамтамасыз ету үшін мұқият жасалған.