Қатты кремний карбидті қанаттар

Semicorex қаттыкремний карбидті қанаттарәдетте RTP күйдіру пештері және диффузиялық пештер сияқты жартылай өткізгішті термиялық өңдеу жабдығының тік пеш түтіктерінің ішіне жылу оқшаулағыш компоненттері ретінде орнатылады. Semicorex қатты кремний карбидті қанаттары жоғары температура пештерінде температураның таралуын тиімді реттей алады және жоғары температура әсерінен есікті тығыздау бөліктерінің технологиялық зақымдалуын азайтады. Ылғалды тотығудың жұмыс жағдайында Semicorex қатты кремний карбидті қанаттары салыстырмалы түрде төмен технологиялық температураларда су буының конденсациясынан туындаған процесс нәтижелеріне және жартылай өткізгіш құрылғыларға жағымсыз әсерлердің алдын алу үшін пайдаланылуы мүмкін.

Semicorex қатты кремний карбидті желбезектердің артықшылықтары

1. Тозуға тамаша төзімділік

CVD SiC поликристалды текше кристалды құрылымға ие, ерекше қаттылығы гауһардан кейін екінші. Semicorex қатты кремний карбидінің тозуға тамаша төзімділігі осы қасиетке байланысты, бұл оларды өңдеу және ауыстыру кезінде тозуға төзімді етеді.

2. Жоғары жылуды басқару мүмкіндігі

CVD SiC тамаша термиялық төзімділік пен жоғары температура тұрақтылығын қамтамасыз етеді, ол шамамен 2000°C дейінгі температурада ерімейді немесе жұмсармайды және ультра жоғары температура сублимациясына дейін тұрақтылығын сақтайды. Осы жоғары термиялық сипаттамалардың арқасында Semicorex қатты кремний карбидті қанаттары жартылай өткізгішті термиялық өңдеудің күрделі шарттарына өте қолайлы.

3. Өте жоғары тазалық

CVD-SiCтұндыру процесінде агломерациялық қоспаларсыз өндіріледі. Кәдімгі реакциямен байланыстырылған кремний карбидімен салыстырғанда, ол 99,9995%-дан жоғары тазалықпен ерекшеленеді. Бұл технологиялық орталардағы жоғары температурадан туындаған Semicorex қатты кремний карбидінің металл қоспаларының ластануын тиімді болдырмайды, жетілдірілген жартылай өткізгіш өндірісінің тазалық талаптарына толық жауап береді.

4. Сенімді коррозияға төзімділік

Semicorex қатты кремний карбиді қанаттары жоғары температурада CVD SiC ерекше химиялық инерттілігінің арқасында жартылай өткізгішті термиялық өңдеу процестерінде қолданылатын жоғары тотықтырғыш және күшті қышқылдық технологиялық газдарға төтеп бере алады. Бұл сенімді коррозияға төзімділік олардың қызмет ету мерзімін тиімді ұзартады, құрамдастарды ауыстыру шығындарын азайтады.

5. Нақты өңдеу дәлдігі

Пештің әртүрлі түтіктерімен үйлесімділікті қамтамасыз ету үшін Semicorex қатты кремний карбидті қалқандарды диаметрі, қалыңдығы, саңылау өлшемі, тегістік және өлшемдік рұқсаттар бойынша тұтынушы талаптарына сәйкес реттей алады. Бұл жоғары стандартты өңдеу дәлдігі жабдықтағы қалқандардың тұрақты жұмысына кепілдік береді және жартылай өткізгішті термиялық өңдеу қолданбаларының жалпы тиімділігін оңтайландыруға көмектеседі.