Қатты SiC душ басы

Қатты SiC душ басының негізгі ерекшеліктері

1. Прекурсорлық газдардың біркелкі таралуы

Қатты SiC душ басының негізгі функциясы - CVD процестері кезінде субстрат бойынша прекурсорлық газдарды біркелкі тарату. Бұл біркелкі бөлу жартылай өткізгіш пластиналардағы жұқа қабықшалардың консистенциясы мен сапасын сақтау үшін өте маңызды.

2. Тұрақты және сенімді бүрку әсерлері

Solid SiC душ басының дизайны тұрақты және сенімді бүрку әсеріне кепілдік береді. Бұл сенімділік жоғары сапалы жартылай өткізгіштерді өндірудің негізі болып табылатын өңдеу нәтижелерінің біркелкілігі мен дәйектілігін қамтамасыз ету үшін өте маңызды.

CVD Bulk SiC компоненттерінің артықшылықтары

CVD көлемді SiC бірегей қасиеттері Solid SiC душ басының тиімділігіне айтарлықтай үлес қосады. Бұл қасиеттерге мыналар жатады:

1. Жоғары тығыздық пен тозуға төзімділік

CVD көлемді SiC құрамдастары тозуға және механикалық әсерге тамаша төзімділік беретін 3,2 г/см³ жоғары тығыздыққа ие. Бұл беріктік қатты SiC душ басының жартылай өткізгіш орталарда үздіксіз жұмыс істеу қиындығына төтеп бере алатынын қамтамасыз етеді.

2. Жоғары жылу өткізгіштік

Жылу өткізгіштігі 300 Вт/м-К, көлемді SiC жылуды тиімді басқарады. Бұл қасиет экстремалды термиялық циклдарға ұшыраған құрамдас бөліктер үшін өте маңызды, өйткені ол қызып кетудің алдын алады және процестің тұрақтылығын сақтайды.

3. Ерекше химиялық төзімділік

SiC-тің хлор және фтор негізіндегі химиялық заттар сияқты қышқыл газдармен төмен реактивтілігі құрамдастардың ұзақ қызмет ету мерзімін қамтамасыз етеді. Бұл қарсылық қатты химиялық орталарда қатты SiC душ басының тұтастығын сақтау үшін өте маңызды.

4. Реттелетін кедергі

CVD көлемді SiC кедергісін 10^-2 және 10^4 Ом-см диапазонында реттеуге болады. Бұл бейімділік Solid SiC душ басына арнайы оюлау және жартылай өткізгіштерді өндіру талаптарын қанағаттандыруға мүмкіндік береді.

5. Жылулық кеңею коэффициенті

4,8 x 10^-6/°C (25-1000°C) термиялық кеңею коэффициенті бар CVD көлемді SiC термиялық соққыға төзімді. Бұл кедергі жылдам қыздыру және салқындату циклдары кезінде өлшемдік тұрақтылықты қамтамасыз етіп, құрамдас бөліктердің істен шығуын болдырмайды.

6. Плазмалық ортадағы төзімділік

Жартылай өткізгіш процестерде плазма мен реактивті газдардың әсері сөзсіз. CVD көлемді SiC коррозияға және деградацияға жоғары төзімділігі ауыстыру жиілігін және жалпы техникалық қызмет көрсету шығындарын азайтады.

Жартылай өткізгіштер өндірісіндегі қолданбалар

1. Химиялық булардың тұндыру (CVD)

CVD процестерінде Solid SiC душ басы жоғары сапалы жұқа қабықшаларды тұндыру үшін маңызды болып табылатын газдың біркелкі таралуын қамтамасыз ету арқылы маңызды рөл атқарады. Оның қатаң химиялық және термиялық ортаға төтеп беру қабілеті оны осы қолданбада таптырмас етеді.

2. Оңалту процестері

Solid SiC душ басының химиялық төзімділігі мен термиялық тұрақтылығы оны оюлау қолданбаларына қолайлы етеді. Оның ұзақ мерзімділігі оның агрессивті химиялық заттар мен плазмалық жағдайларды өңдей алатындығына кепілдік береді.

3. Жылулық басқару

Жартылай өткізгіштерді өндіруде тиімді жылуды басқару өте маңызды. Solid SiC душ басының жоғары жылу өткізгіштігі жылуды тиімді түрде таратуға көмектеседі, бұл процеске қатысатын компоненттердің қауіпсіз жұмыс температураларында сақталуын қамтамасыз етеді.

4. Плазмалық өңдеу

Плазманы өңдеу кезінде Solid SiC душ басының плазмадан туындаған деградацияға төзімділігі ұзақ жұмыс істеуді қамтамасыз етеді. Бұл беріктік процестің тұрақтылығын сақтау және жабдықтың істен шығуына байланысты тоқтау уақытын азайту үшін өте маңызды.