Кремний пластинасының тасымалдаушысы

Semicorex жартылай өткізгіш салалардағы кремний карбиді қабаттарына бағытталған OEM жартылай дайындау құралдары мен пластинаны өңдеу компоненттері үшін жартылай өткізгіштерге арналған керамика ұсынады. Біз көптеген жылдар бойы кремний вафли тасымалдаушысының өндірушісі және жеткізушісі болдық. Біздің кремний вафельді тасымалдауышымыз жақсы баға артықшылығына ие және еуропалық және американдық нарықтардың көпшілігін қамтиды. Біз сіздің Қытайдағы ұзақ мерзімді серіктес болуды асыға күтеміз.

Сұрау жіберу

Өнім Сипаттамасы

Жартылай өткізгішті тұндыру процестері пластинкаларға жоғары сапалы жұқа қабықшаларды қабаттау үшін ұшпа прекурсорлар, плазма және жоғары температура комбинациясын пайдаланады. Тұндыру камералары мен вафельді өңдеу құралдары осы қиын орталарға төтеп беру үшін берік керамикалық компоненттерді қажет етеді.
Semicorex Silicon Wafer Carrier - жоғары коррозияға және ыстыққа төзімділік қасиеттеріне, сондай-ақ тамаша жылу өткізгіштікке ие жоғары таза кремний карбиді.

Кремний пластинкасының параметрлері

Техникалық қасиеттері
Индекс	Бірлік	Мән
Материал атауы		Реакция агломерленген кремний карбиді	Қысымсыз агломерленген кремний карбиді	Қайта кристалданған кремний карбиді
Құрамы		RBSiC	SSiC	R-SiC
Көлемді тығыздық	г/см3	3	3,15 ± 0,03	2,60-2,70
Иілу күші	МПа (кпси)	338(49)	380(55)	80-90 (20°C) 90-100(1400°C)
Қысу күші	МПа (кпси)	1120(158)	3970(560)	> 600
Қаттылық	Түйме	2700	2800	/
Төзімділікті бұзу	МПа м1/2	4.5	4	/
Жылу өткізгіштік	В/м.к	95	120	23
Жылулық кеңею коэффициенті	10^-6.1/°C	5	4	4.7
Меншікті жылу	Джоуль/г 0к	0.8	0.67	/
Ауадағы максималды температура	℃	1200	1500	1600
Серпімді модуль	Gpa	360	410	240

SSiC мен RBSiC арасындағы айырмашылық:

1. Агломерация процесі әртүрлі. RBSiC кремний карбидіне төмен температурада бос Si инфильтрациялау болып табылады, SSiC 2100 градуста табиғи шөгу арқылы түзіледі.

2. SSiC беті тегіс, тығыздығы жоғары және беріктігі жоғары, бетке қойылатын талаптары жоғарырақ кейбір тығыздағыштар үшін SSiC жақсырақ болады.

3. Әртүрлі PH және температура кезінде әр түрлі пайдаланылған уақыт, SSiC RBSiC қарағанда ұзағырақ

Кремний вафли тасымалдаушысының ерекшеліктері

Жоғары таза SiC қапталған графит
Жоғары ыстыққа төзімділік және жылу біркелкілігі
Тегіс бет үшін жұқа SiC кристалы қапталған
Химиялық тазалауға төзімділігі жоғары
Материал жарықтар мен деламинация пайда болмайтындай етіп жасалған.

Кремний карбиді керамикасының қол жетімді пішіндері:

● Керамикалық өзек / керамикалық түйреуіш / керамикалық плунжер

● Керамикалық түтік / керамикалық втулка / керамикалық гильза

● Керамикалық сақина / керамикалық шайба / керамикалық аралық

● Керамикалық диск

● Керамикалық табақ / керамикалық блок

● Керамикалық шар

● Керамикалық поршень

● Керамикалық саптама

● Керамикалық тигель

● Басқа арнайы керамикалық бөлшектер