Кремний карбиді ICP пластинасы

Кремний карбиді ICP пластинасыВафлиді тұрақты қолдау және дәл ұстанымдар жасауға құзырлы, оларды вафли үшін дәл ұстанымдар, дәлдікпен немесе жылжыту арқылы алынған дәлдіктің төмендеуіне жол бермейді.

Силикон Карбид ICP пластинасы тақтайшаларда термиялық басқару мүмкіндіктері бар.Superior жылу өткізгіштіктеріСиктік керамикаСиликон Карбидке ICP плитадан плитадан плитадан тез арада ыдыратыңыз, бұл ыстықты тез арада таратуға қабілетті, бұл дайындаманың жергілікті қызып кетуіне жол бермейді және температураның біркелкілігін қамтамасыз етуге көмектеседі, осылайша сапаны жақсартады. SIC керамикасы жылу кеңеюіне ие, бұл кремний карбидінің ICP-ге жақсы өлшемді тұрақтылықты сақтауға және жылу кеңеюінен туындаған жұмыс бөлігін ауыстыруға мүмкіндік береді.

Керемет қаттылыққа және беріктік қасиеттеріне сүйене отырып, кремний карбиді ICP-ді кремді карбид, минималды деформациямен немесе зақымдану кезінде механикалық кернеу мен плазманың әсеріне жол бермеуге мүмкіндік береді. Бұл қабілеті жартылай өткізгіш құрылғылардың өнімділігі мен өндіріс тиімділігін тиімді жақсартады.

ICP жұмыс ортасы жартылай өткізгіш деңгейлі тазалықты қажет етеді. Subicorex-тің Карбидс Карбид ИКЖ-ны алу Пластиналар бұл талапқа толық сәйкес келуі, химиялық газдарға ерекше төзімділікті (мысалы, хлор және фтор) және ICP ицма жасау орталарына толықтай сәйкес келеді. Бұл маңызды қасиет технологиялық ортада операцияларды жүзеге асыру кезінде шығарылған ластаушы заттардың мөлшерін азайту арқылы таза ұстайды.

Subicorex клиликон карбидінің жеке дизайнын ұсынатын, CarbideC ICP теңшелімін ұсынады, ол қолданыстағы ICP ECP жүйелерімен үздіксіз біріктірілген және әртүрлі конфигурациялармен үйлеседі. Бұл тегіс ауысуға мүмкіндік береді, бұл оны жабдық өндірушілері үшін тамаша жаңарту шешімі.