Кремний карбиді фокус сақиналары

Кремний карбиді фокус сақиналарыәдетте электростатикалық патронның пластинкалы тірек бетінің айналасына орналастырылған отвар жабдығының реакциялық камерасына орнатылады. Бұл орнату схемасы пластинаның жиегі мен электрод арасындағы биіктік айырмашылығын сәтті толтыра алады, біркелкі оюға қол жеткізу үшін реакция камерасындағы плазманы вафли бетіне фокустайды, сонымен қатар пластина жиегін шамадан тыс оюлау мәселесін болдырмау үшін пластмасса жиегінен сыртқа қарай плазманың диффузиясын болдырмайды.

Жоғары сапалы оюлау құрамдастары оюлау процесі үшін тұрақты электр өрісінің ортасын қамтамасыз ете алады. Semicorex кремний карбиді фокус сақиналары жоғары өнімділіктен жасалғанкремний карбидті материалдархимиялық буларды тұндыру арқылы. Біздің фокустық сақиналар вафли айналасындағы электр өрісінің таралуын реттеуге қабілетті, біркелкі емес электр өрістерінен туындаған сызу ауытқуларын немесе разряд құбылыстарын айтарлықтай азайтады.

Жартылайөткізгіш пластиналар бөлшектердің ластануына оңай сезімтал, сондықтан плазмалық өңдеу процестері ультра таза иондарды өңдеу реакциялық камераларында жүргізілуі керек. Оңалту жабдығының негізгі құрамдас бөлігі ретінде кремний карбиді фокус сақиналары нақты жұмыс кезінде пластинаның жиегімен тікелей байланыста болады, сонымен қатар өте жоғары тазалық стандарттарына сай болу үшін қажет. Semicorex кремний карбиді фокус сақиналары жартылай өткізгішті өңдеу процестерінің қатаң тазалық талаптарын дәл қанағаттандыра алатын жоғары тазалық пен төмен қоспалардың артықшылығын ұсынады. Бұл пластинаның ақауларын азайтуға және пластинаның өнімділігін арттыруға үлкен үлес қосады.

Плазманы өрнектеу процесі кезінде реакция камерасына фтор және оттегі сияқты қышқыл газдар енгізіледі. Операциялау жабдығының химиялық коррозияға төзімділігі технологиялық газдардың әсерінен болатын ұзақ мерзімді коррозияға байланысты қатты сынға түседі. Плазмалық коррозияға жоғары төзімділік қасиетімен кремний карбиді фокус сақинасын жасау үшін оңтайлы материал таңдау болып табылады. Коррозияға байланысты құрамдас бөліктердің зақымдану мүмкіндігін азайту және жиі ауыстыру және техникалық қызмет көрсету қажеттілігін азайту арқылы кремний карбиді фокус сақиналары жартылай өткізгіш пластиналар өндірісінің тиімділігін айтарлықтай арттыра алады.