Кремний карбидімен қапталған графит бөшке

Semicorex кремний карбидімен қапталған графит бөшкелері жоғары жылу мен коррозияға төзімділікті қажет ететін жартылай өткізгіштерді өндіру қолданбалары үшін тамаша таңдау болып табылады. Оның ерекше жылу өткізгіштігі мен жылуды тарату қасиеттері оны LPE процестерінде және басқа жоғары температуралы орталарда пайдалану үшін өте қолайлы етеді.

Сұрау жіберу

Өнім Сипаттамасы

Жартылай өткізгішті өндіруге келетін болсақ, Semicorex кремний-карбидпен қапталған графит баррелі ерекше өнімділік пен сенімділік үшін ең жақсы таңдау болып табылады. Оның жоғары сапалы SiC жабыны және жоғары тығыздығы мен жылу өткізгіштігі тіпті ең қиын жоғары температура мен коррозиялық орталарда жоғары жылуды бөлуді және қорғауды қамтамасыз етеді.

Біздің кремний карбидпен қапталған графит бөшкеміз ең жақсы ламинарлы газ ағынының үлгісіне кепілдік бере отырып, біркелкі жылу профилін қамтамасыз етеді. Ол кез келген ластанулардың немесе қоспалардың вафлиге таралуын болдырмайды, бұл оны таза бөлмеде пайдалану үшін өте қолайлы етеді. Semicorex - Қытайдағы SiC қапталған графит сусцепторының ауқымды өндірушісі және жеткізушісі және біздің өнімдеріміз жақсы баға артықшылығына ие. Біз жартылай өткізгіштер өнеркәсібінде сіздің ұзақ мерзімді серіктес болуды асыға күтеміз.

Кремний карбидімен қапталған графит бөшкесінің параметрлері

CVD-SIC жабынының негізгі сипаттамалары
SiC-CVD қасиеттері
Кристалл құрылымы	FCC β фазасы
Тығыздығы	г/см³	3.21
Қаттылық	Викерс қаттылығы	2500
Астық мөлшері	мкм	2~10
Химиялық тазалық	%	99.99995
Жылу сыйымдылығы	Дж кг-1 К-1	640
Сублимация температурасы	℃	2700
Жіңішке күш	МПа (RT 4-нүкте)	415
Жас модулі	Gpa (4pt иілу, 1300℃)	430
Термиялық кеңею (C.T.E)	10-6К-1	4.5
Жылу өткізгіштік	(Вт/мК)	300

Кремний карбидімен қапталған графит бөшкесінің ерекшеліктері

- Графит субстраты да, кремний карбиді қабаты да жақсы тығыздыққа ие және жоғары температура мен коррозиялық жұмыс орталарында жақсы қорғаныс рөлін атқара алады.

- Монокристалды өсіру үшін қолданылатын кремний карбидімен қапталған сенсордың бетінің тегістігі өте жоғары.

- Графит субстраты мен кремний карбиді қабаты арасындағы термиялық кеңею коэффициентіндегі айырмашылықты азайтыңыз, крекинг пен қабаттасуды болдырмау үшін байланыс беріктігін тиімді жақсартыңыз.

- Графиттік негіз де, кремний карбиді қабаты да жоғары жылу өткізгіштікке және тамаша жылу тарату қасиеттеріне ие.

- Жоғары балқу температурасы, жоғары температурадағы тотығуға төзімділігі, коррозияға төзімділігі.