Semicorex кремний карбидпен қапталған графит бөшкелері жоғары жылу мен коррозияға төзімділікті қажет ететін жартылай өткізгіштерді өндіру қолданбалары үшін тамаша таңдау болып табылады. Оның ерекше жылу өткізгіштігі және жылу тарату қасиеттері оны LPE процестерінде және басқа жоғары температуралы орталарда пайдалану үшін өте қолайлы етеді.
Жартылай өткізгішті өндіруге келетін болсақ, Semicorex кремнийлі карбидпен қапталған графит баррелі ерекше өнімділік пен сенімділік үшін ең жақсы таңдау болып табылады. Оның жоғары сапалы SiC жабыны және жоғары тығыздығы мен жылу өткізгіштігі тіпті ең қиын жоғары температура мен коррозиялық орталарда жоғары жылуды бөлуді және қорғауды қамтамасыз етеді.
Біздің кремний карбидпен қапталған графит бөшкеміз ең жақсы ламинарлы газ ағынының үлгісіне кепілдік бере отырып, біркелкі жылу профилін қамтамасыз етеді. Ол кез келген ластанулардың немесе қоспалардың вафлиге таралуын болдырмайды, бұл оны таза бөлмеде пайдалану үшін өте қолайлы етеді. Semicorex - Қытайдағы SiC қапталған графит сусцепторының ауқымды өндірушісі және жеткізушісі және біздің өнімдеріміз жақсы баға артықшылығына ие. Біз жартылай өткізгіштер өнеркәсібінде сіздің ұзақ мерзімді серіктес болуды асыға күтеміз.
Кремний карбидімен қапталған графит бөшкесінің параметрлері
CVD-SIC жабынының негізгі сипаттамалары |
||
SiC-CVD қасиеттері |
||
Кристалл құрылымы |
FCC β фазасы |
|
Тығыздығы |
г/см³ |
3.21 |
Қаттылық |
Викерс қаттылығы |
2500 |
Астық мөлшері |
μм |
2~10 |
Химиялық тазалық |
% |
99.99995 |
Жылу сыйымдылығы |
Дж·кг-1 ·К-1 |
640 |
Сублимация температурасы |
℃ |
2700 |
Жіңішке күш |
МПа (RT 4-нүкте) |
415 |
Young's модулі |
Gpa (4pt иілісі, 1300â) |
430 |
Термиялық кеңею (C.T.E) |
10-6К-1 |
4.5 |
Жылу өткізгіштік |
(Вт/мК) |
300 |
Кремний карбидімен қапталған графит бөшкесінің ерекшеліктері
- Графиттік негіз де, кремний карбиді қабаты да жақсы тығыздыққа ие және жоғары температура мен коррозиялық жұмыс орталарында жақсы қорғаныс рөлін атқара алады.
- Монокристалды өсіру үшін қолданылатын кремний карбидімен қапталған сенсордың бетінің тегістігі өте жоғары.
- Графиттік субстрат пен кремний карбиді қабаты арасындағы термиялық кеңею коэффициентіндегі айырмашылықты азайтыңыз, крекинг пен қабаттасуды болдырмау үшін байланыстыру беріктігін тиімді жақсартыңыз.
- Графиттік негіз де, кремний карбиді қабаты да жоғары жылу өткізгіштікке және тамаша жылу тарату қасиеттеріне ие.
- Жоғары балқу температурасы, жоғары температурадағы тотығуға төзімділігі, коррозияға төзімділігі.