Semicorex карбидпен қапталған реактор бөшкесінің сіңіргіші - LPE процестері үшін арнайы жасалған, жоғары таза SiC-пен қапталған жоғары сапалы графит өнімі. Тамаша ыстыққа және коррозияға төзімділікке ие бұл өнім жартылай өткізгіштерді өндіру қолданбаларында қолдануға өте ыңғайлы.
Егер сіз жартылай өткізгіш пластиналардағы эпитаксиалды қабат түзуге арналған өнімділігі жоғары графит сенсорын іздесеңіз, Semicorex карбидпен қапталған реактордың бөшкелік сусепторы тамаша таңдау болып табылады. Оның кремний карбидті жабыны жоғары жылуды бөлуді және жылу өткізгіштігін қамтамасыз етеді, тіпті ең талап етілетін жоғары температуралық орталарда ерекше өнімділікті қамтамасыз етеді.
Semicorex-те біз карбидпен қапталған жоғары сапалы, үнемді реактор баррельді қабылдауға назар аударамыз, біз тұтынушылардың қанағаттануын бірінші орынға қоямыз және үнемді шешімдерді ұсынамыз. Біз жоғары сапалы өнімдер мен ерекше тұтынушыларға қызмет көрсететін ұзақ мерзімді серіктес болуды асыға күтеміз.
Карбидпен қапталған реактор бөшкесінің сусцепторының параметрлері
CVD-SIC жабынының негізгі сипаттамалары |
||
SiC-CVD қасиеттері |
||
Кристалл құрылымы |
FCC β фазасы |
|
Тығыздығы |
г/см³ |
3.21 |
Қаттылық |
Викерс қаттылығы |
2500 |
Астық мөлшері |
μм |
2~10 |
Химиялық тазалық |
% |
99.99995 |
Жылу сыйымдылығы |
Дж·кг-1 ·К-1 |
640 |
Сублимация температурасы |
℃ |
2700 |
Жіңішке күш |
МПа (RT 4-нүкте) |
415 |
Young's модулі |
Gpa (4pt иілісі, 1300â) |
430 |
Термиялық кеңею (C.T.E) |
10-6К-1 |
4.5 |
Жылу өткізгіштік |
(Вт/мК) |
300 |
Карбидпен қапталған реактордың бөшкелік сусцепторының ерекшеліктері
- Графиттік негіз де, кремний карбиді қабаты да жақсы тығыздыққа ие және жоғары температура мен коррозиялық жұмыс орталарында жақсы қорғаныс рөлін атқара алады.
- Монокристалды өсіру үшін қолданылатын кремний карбидімен қапталған сенсордың бетінің тегістігі өте жоғары.
- Графиттік субстрат пен кремний карбиді қабаты арасындағы термиялық кеңею коэффициентіндегі айырмашылықты азайтыңыз, крекинг пен қабаттасуды болдырмау үшін байланыстыру беріктігін тиімді жақсартыңыз.
- Графиттік негіз де, кремний карбиді қабаты да жоғары жылу өткізгіштікке және тамаша жылу тарату қасиеттеріне ие.
- Жоғары балқу температурасы, жоғары температурадағы тотығуға төзімділігі, коррозияға төзімділігі.