Semicorex карбидпен қапталған реактор бөшкесінің сіңіргіші - LPE процестері үшін арнайы әзірленген, жоғары таза SiC қапталған жоғары сапалы графит өнімі. Тамаша ыстыққа және коррозияға төзімділікке ие бұл өнім жартылай өткізгіштерді өндіру қолданбаларында қолдануға өте ыңғайлы.
Егер сіз жартылай өткізгішті пластиналардағы эпитаксиалды қабат түзуге арналған өнімділігі жоғары графит сенсорын іздесеңіз, Semicorex карбидпен қапталған реактор бөшкесінің сусепторы тамаша таңдау болып табылады. Оның кремний карбидті жабыны жоғары жылуды бөлуді және жылу өткізгіштігін қамтамасыз етеді, тіпті ең талап етілетін жоғары температуралық орталарда ерекше өнімділікті қамтамасыз етеді.
Semicorex-те біз карбидпен қапталған жоғары сапалы, үнемді реактор бөшкесі баррельін қамтамасыз етуге назар аударамыз, біз тұтынушылардың қанағаттануын бірінші орынға қоямыз және үнемді шешімдерді ұсынамыз. Біз жоғары сапалы өнімдер мен ерекше тұтынушыларға қызмет көрсететін ұзақ мерзімді серіктес болуды асыға күтеміз.
Карбидпен қапталған реактор бөшкесінің сусцепторының параметрлері
CVD-SIC жабынының негізгі сипаттамалары |
||
SiC-CVD қасиеттері |
||
Кристалл құрылымы |
FCC β фазасы |
|
Тығыздығы |
г/см³ |
3.21 |
Қаттылық |
Викерс қаттылығы |
2500 |
Астық мөлшері |
мкм |
2~10 |
Химиялық тазалық |
% |
99.99995 |
Жылу сыйымдылығы |
Дж кг-1 К-1 |
640 |
Сублимация температурасы |
℃ |
2700 |
Фелексальды күш |
МПа (RT 4-нүкте) |
415 |
Жас модулі |
Gpa (4pt иілу, 1300℃) |
430 |
Термиялық кеңею (C.T.E) |
10-6К-1 |
4.5 |
Жылу өткізгіштік |
(Вт/мК) |
300 |
Карбидпен қапталған реактор бөшкесінің сусцепторының ерекшеліктері
- Графит субстраты да, кремний карбиді қабаты да жақсы тығыздыққа ие және жоғары температура мен коррозиялық жұмыс орталарында жақсы қорғаныс рөлін атқара алады.
- Монокристалды өсіру үшін қолданылатын кремний карбидімен қапталған сенсордың бетінің тегістігі өте жоғары.
- Графит субстраты мен кремний карбиді қабаты арасындағы термиялық кеңею коэффициентіндегі айырмашылықты азайтыңыз, крекинг пен қабаттасуды болдырмау үшін байланыс беріктігін тиімді жақсартыңыз.
- Графиттік негіз де, кремний карбиді қабаты да жоғары жылу өткізгіштікке және тамаша жылу тарату қасиеттеріне ие.
- Жоғары балқу температурасы, жоғары температурадағы тотығуға төзімділігі, коррозияға төзімділігі.