Semicorex кремний карбиді керамикалық консоль қалақтары жоғары таза кремний карбидінен дәл жасалған жоғары өнімді консольдық құрылымдық құрамдас бөліктер болып табылады. Our silicon carbide ceramic cantilever paddles are the optimal solutions for carrying and transporting wafers, specifically designed for state-of-the-art semiconductor wafer fabrication and photovoltaic cell production.
Semicorexкремний карбиді керамикалық консольді қалақшаларбір сатылы 3D басып шығарылған жасыл денені жоғары температурада агломерациялау, содан кейін химиялық буларды тұндыру арқылы жабу өңдеу арқылы өндіріледі. Нақты жұмыс кезінде кремний карбидті керамикалық консоль қалақшалары вафли тасушы компоненттерді жоғары температуралы өңдеу жабдығына (мысалы, тотығу пештері, диффузиялық пештер, CVD пештері және т.б.) біркелкі және тұрақты тасымалдау үшін механикалық автоматтандыру жүйелері арқылы іске қосылады. Бұл кремний карбиді компоненттері пластиналар мен пеш түтіктері арасындағы концентрлік дәлдікті тиімді қамтамасыз ете алады, осылайша диффузия, тотығу және химиялық буларды тұндыру сияқты маңызды процестер кезінде процестің біркелкілігі мен тұрақтылығына кепілдік береді.
1. Ластану өнімділігі төмен:
Semicorexкремний карбидіЖоғары дәлдікпен өңделген керамикалық консоль қалақшалары шаңсыз және бөлшектерсіз стандарттарға жетеді. Олардың матрицаларында қоспалардың құрамы 300PPM-ден төмен қатаң бақыланады және CVD кремний карбиді жабынының қоспасы 5PPM-ден де төмен.
2. Жоғары температура тұрақтылығы:
Кремний карбидінің тамаша жоғары температураға төзімділігі мен термиялық соққыға төзімділігі арқасында Semicorex кремний карбиді керамикалық консоль қалақтары 1250°C-қа дейінгі жоғары температурада деформациясыз, жұмсартпай немесе жоғары температура әсерінен зақымданбай ұзақ уақыт бойы құрылымдық тұрақтылығын сақтай алады.
3. Ерекше жүк сыйымдылығы:
Semicorex кремний карбидті керамикалық консоль қалақшалары бірегей құрылымдық дизайны мен жоғары материал қасиеттерінің (жоғары механикалық беріктігі мен қаттылығы) арқасында ерекше жүк көтергіштігін қамтамасыз етеді. Бұл ерекше жүк сыйымдылығы олардың массалық өндіріс қажеттіліктерін қанағаттандыру үшін пластинаның үлкен партияларының салмағына төтеп беруге мүмкіндік береді, бұл вафли партиясын өңдеу тиімділігін тиімді арттырады.
4. Керемет коррозияға төзімділік:
Semicorex кремний карбиді керамикалық консоль қалақтары жартылай өткізгіштер мен фотоэлектрлік өндіріс процестерінде жоғары температурада болатын оттегіге, хлорға және басқа коррозиялық заттарға тамаша коррозияға төзімділігін көрсетеді. Бұл жоғары өнімділік кремний карбиді керамикалық консоль қалақшаларының зақымдануынан туындаған шығындар мен уақытты болдырмау арқылы өндірістік процестердің бірқалыпты жұмысын қамтамасыз ету үшін өте маңызды.