Semicorex - жартылай өткізгіштерді өңдеуді жақсарту бойынша серіктесіңіз. Біздің кремний карбидті жабындарымыз тығыз, жоғары температураға және химиялық төзімділікке ие, олар көбінесе жартылай өткізгішті өндірудің бүкіл циклінде, соның ішінде жартылай өткізгіш пластиналар мен пластиналарды өңдеу және жартылай өткізгішті өндіруде қолданылады.
Жоғары таза SiC керамикалық компоненттері жартылай өткізгіштегі процестер үшін өте маңызды. Біздің ұсыныстарымыз вафли өңдеу жабдығына арналған шығын материалдарының бөліктерінен бастап, мысалы, кремний карбиді вафельді қайық, консоль қалақшалары, түтіктер және т.б. Epitaxy немесе MOCVD үшін.
Жартылай өткізгіш процестердің артықшылықтары
Эпитаксия немесе MOCVD сияқты жұқа қабықша тұндыру фазалары немесе опаттау немесе иондық имплантация сияқты пластинаны өңдеу жоғары температураға және қатал химиялық тазалауға төзімді болуы керек. Semicorex жоғары таза кремний карбидінің (SiC) құрылымы жоғары ыстыққа төзімділік пен ұзақ химиялық төзімділікті, эпи қабаттың тұрақты қалыңдығы мен тұрақтылығы үшін тіпті термиялық біркелкілікті қамтамасыз етеді.
Камера қақпақтары →
Кристаллды өсіру және вафельді өңдеу кезінде қолданылатын камера қақпақтары жоғары температураға және қатты химиялық тазалауға төзімді болуы керек.
Консольдық қалақ →
Консольдық қалақ - жартылай өткізгіштерді өндіру процестерінде, әсіресе диффузиялық немесе LPCVD пештерінде диффузия және RTP сияқты процестерде қолданылатын маңызды компонент.
Процесс түтігі →
Процесс түтігі RTP, диффузия сияқты жартылай өткізгіштерді өңдеудің әртүрлі қосымшаларында арнайы әзірленген маңызды құрамдас бөлігі болып табылады.
Вафельді қайықтар →
Вафельді қайық жартылай өткізгішті өңдеуде қолданылады, ол өндірістің маңызды кезеңдерінде нәзік вафлилердің қауіпсіз сақталуын қамтамасыз ету үшін мұқият әзірленген.
Кіріс сақиналары →
MOCVD жабдығы арқылы SiC қапталған газ кіріс сақинасы Құрама өсудің жоғары жылу және коррозияға төзімділігі бар, ол төтенше ортада үлкен тұрақтылыққа ие.
Фокус сақинасы →
Semicorex компаниясының кремний карбидімен қапталған фокус сақинасы RTA, RTP немесе қатты химиялық тазалау үшін шынымен тұрақты.
Вафель Чак →
Semicorex ультра жалпақ керамикалық вакуумды вафельді патрондар пластинаны өңдеу процесінде қолданылатын жоғары таза SiC қапталған.
Semicorex сонымен қатар алюминий тотығы (Al2O3), кремний нитриді (Si3N4), алюминий нитриді (AIN), цирконий (ZrO2), композиттік керамика және т.б. керамикалық өнімдерге ие.
Subicorex кремний карбиді жалпақ мембрана - бұл ерекше химиялық тұрақтылығы, жылу тұрақтылығы және сүзудің тиімділігі үшін әйгілі керамикалық сүзу ерітіндісі. Subicorex таңдау - бұл өндірістік өндіріс процестерімен және ең күшті, үнемді шешімдерді жеткізуге міндеттеме беруді және ең жақсы сүзгілеу қиындықтарға жауап беруді білдіреді. *
Ары қарай оқуСұрау жіберуSubicorex кремний карбидінің композициялық мембранасы - бұл көптеген салаларда жоғары өнімді сүзгілеу үшін кремний карбициясының, алюминий, алюминий және кальций оксидінің жоғары сапасын біріктіретін жетілдірілген сүзу ерітіндісі. Subicorex - бұл кесу, сенімділік, сенімділігі, сенімділігі, сенімділігі және бейімделген шешімдерді ұсынатын, бұл сіздің сүзуіңіз үшін оңтайлы және арнайы шешімдерді ұсынатын осы заманауи технологиялар үшін сенімді таңдау.
Ары қарай оқуСұрау жіберуSubicorex Silicon Carbide мембранасы - бұл жоғары химиялық, жылу және механикалық қарсылық ұсынатын, өндірістік қосымшаларды талап ететін жоғары, термиялық және механикалық қарсылық ұсынатын жетілдірілген сүзу шешімдері. Біздің жоғары сапалы, тиімділік, тиімділік және сенімділік, әр сүзу процесінде оңтайлы нәтиже беретін жоғары сапалы, тұрақты мембраналар үшін Subicorex таңдаңыз.
Ары қарай оқуСұрау жіберуSubicorex SIC мембранасы - бұл жоғары сапалы кремний карбидінен жасалған жоғары сапалы кремний карбидінен жасалған, өндірістік сүзу қосымшалары. Ерекше өнімділік пен ұзақ мерзімді құндылықтарды да, ұзақ мерзімді құндылықтарды жеткізетін сенімді, тұрақты және тиімді SIC мембраналары үшін Subicorex таңдаңыз. *
Ары қарай оқуСұрау жіберуSubicorex вакуумдық Chucks - бұл жартылай өткізгіштер мен дәлдіктерде вафлиді өңдеудің тамаша шешімі. Әр түрлі негізгі материалдық мүмкіндіктер, керамикалық плиткалар, және дәл жазықтық бақылау, біздің вакуумдық Chucks біздің вакуумдық Chucks сенімді вафли тұрақтылығын және өте жақсы нәтижелерді қамтамасыз етеді. Қазіргі заманғы жартылай өткізгіш өндірісінің қатаң талаптарын қанағаттандыруға арналған, бұл Chucks теңдесі жоқ өнімділікті жеткізеді, бұл сіздің процестеріңіздің тиімді және үнемді болуын қамтамасыз етеді. *
Ары қарай оқуСұрау жіберуSubicorex кеуекті Sic вакуумдық шұңқырлар дәл және сенімді вакуарлауға арналған, себебі дәл және сенімді вафлиге арналған, бұл жартылай өткізгішті өңдеу қажеттіліктерінің кең спектрін қанағаттандыру үшін теңшелетін материалдық мүмкіндіктерді ұсынады. Әр қосымшаның оңтайлы өнімділігі мен тиімділігін қамтамасыз ететін жоғары сапалы, тұрақты шешімдерге деген адалдығы үшін Subicorex таңдаңыз. *
Ары қарай оқуСұрау жіберу