Кремний карбид қайықтары

Subicorex кремний карбидтік қайықтары ерекше жылу тұрақтылығын көрсетеді, бұл олардың тотығу және диффузиялық процестер үшін қажет экстремалды температураға төтеп беруге мүмкіндік береді. Олардың керемет термиялық кедергісі крекинг немесе деформация қаупін азайтады, ұзақ мерзімді ұзақ өмір сүруді қамтамасыз етеді. Жоғары тығыздық SIC құрамы механикалық беріктікті қамтамасыз етеді, тіпті үздіксіз жылу велосипедінен да құрылымдық тұтастыққа қолдау көрсетеді. Механикалық күйзеліске ерекше төзімділік вафли ластану және сыну ықтималдығын төмендетеді, бұл жоғары технологиялық өнімділікке ықпал етеді. Сонымен қатар, SIC қайықтары тотығу және диффузиялық қадамдарда қолданылатын агрессивті өңделген газдардан сақталған керемет химиялық тұрақтылыққа ие. Бұл сипаттама вафлидің тазалығы мен өндіріс тиімділігін бұзуы мүмкін, қажетсіз реакциялардың алдын алады.

Кремний карбидтік қайықтары, ең алдымен, жоғары температура мен реактивті газдарға вафлидің дәл орындалуын дәл бақылау қажет болған кезде тотығу және диффузиялық пештерде қолданылады. Олар жылу тотығу кезінде вафлиді қолдайды, жоғары сапалы кремний диоксиді қабаттарын өсіру және газермен бақыланатын әсер ету арқылы біркелкі допингке жеңілдетіңіз. Бұған қоса, олар қаражатты және ұзақ жылу әсер етуді қажет ететін басқа да температуралық емдеу үшін тұрақты платформа ұсынады.

Дәстүрлі кварц және графит қайықтарымен салыстырғанда, кремний карбидтік қайықтармен салыстырғанда, ұзақ уақыт бойдақ, ұзақ өмір сүру және өнімділік ұсынады. Олардың құрғақ жылу және химиялық ортаға төтеп беру қабілеті ластануды азайтып, жоғары дәлдікті жартылай өткізгішті өндіріске арналған таңдауға мүмкіндік береді. Сапа мен инновацияға назар аудара отырып, біздің кремний карбидей қайықтары жоғары өнімділікке, жоғары өнімділікке және бүкіл әлем бойынша жартылай өткізгіш өндірушілер үшін жоғары өнімді және тиімді өңдеуді қамтамасыз етеді. Жетілдірілген түйіндік технологиялар немесе мұралық жартылай өткізгіштер үшін бе, бұл қайықтар қатаң салалық талаптарға жауап беру үшін сенімді шешім ұсынады.

(1) Кремний карбидтік қайықтары: Вафтер сияқты жартылай өткізгіш материалдарды, мысалы, ішкі жақшалары немесе саңылаулары арқылы вафлиді алып жүреді және вафлиді сыртқы ортадан қорғау үшін кремний карбид материалдарының жоғары температурасы мен коррозияға төзімділігін қолданады.

(2) Біркелкі жылыту: кремний карбидінің қайығы жылу өңдеу кезінде біркелкі жылытуға мүмкіндік береді. Бұл вафлидің әр бөлігінің температурасы мен реакциясының деңгейі жылу өңдеу процесінде сәйкес келеді, осылайша вафлидің өнімділігі мен сапасын жақсартады.

Қазіргі уақытта үш негізгі түрі баркремний карбиді керамикалықМатериалдар: реакция, қысқыш, қысылып, қысымсыз және қайта кристаллизациялау. Көптеген қосымшаларда реакцияланған кремний карбиді - бұл қолайлы және үнемді өнім. Recrystalled SIC қайықтары, әдетте, біршама бір қондырғы бөлшектерін өңдеңіз, содан кейін бөлшектерді жоғары температурада біріктіру үшін және ақырында CVD-SIC жабынын (шамамен 100um) қолданыңыз. Рекристаллизация кеуекті болғандықтан, егер SIC жабындары болмаса, ол жартылай өткізгіш процесіне кіреді. Recrrestalled SIC қайықтарының бұл түрі ең ұзақ өндіріс процесі бар және өте қымбат. SIC қапталған графиттік қайықтармен салыстырғанда, CVD-SIC қапталған Recrrstalled SIC қайықтарында CTE сәйкес келмейтін проблемалар жоқ.