СИК вафли кассетасы

Subicorex Sic вафли кассетасы, сонымен қатар, плиткалық вафли қайық ретінде белгілі, сонымен қатар 1200 ° C-тан асатын температурада, тотығу, диффузиялық және тазалық операциялары үшін арнайы жасалған. Кассеталар айтарлықтай механикалық қолдау көрсетеді, сонымен қатар жоғары температуралы пешті қолдану кезінде бірден туралау және жылу стрессі кезінде үлкен механикалық және өлшемді тұрақтылықты көрсетеді.  Ватферді өңдеу жүйелеріне арналған ультра таза және термиялық тұрақты материалдарға сұраныс жартылай өткізгіш құрылғылардың мөлшері мен өнімділігінің артуы ретінде өсуде.

Кассета жоғары тазалықтан жасалғанкремний карбидіСондай-ақ, одан да көп пайда алу үшін қолдануға болатын жабындар бар. ӘЖК-де керемет термиялық шок, коррозия және өлшемді деформация тұрақтылығы бар.  СИК-тің ерекше қаттылығы, химиялық инерстері және жылу өткізгіштігі бар, сондықтан бұл осы технологиялық ортаға тамаша материал. Кварцқа және алюминий баламаларына қатысты SIC өзінің механикалық және химиялық қасиеттерін жоғары технологиялық және химиялық қасиеттерін азайтпайды, осылайша ластану қаупін азайтады және өндірістік процестер кезінде вафли процесінің біркелкілігін арттырады.

SIC вафли кассетасының ультра жоғары тазалығы технологиялық камераға түсетін металл немесе иондық ластаушы заттарға төзімділігі; Жартылай өткізгіш өндірістік процестерге қатысты процестерге қатысты жоғары тазалық үшін өте қажет нәрсе. Ластаушы заттардың көздерін азайту арқылы кремний карбид кассеталары вафлидің кірістілігі мен құрылғының сенімділігін арттырады.

Subicorex-тың дәлдігі әр кассетаға қатты төзімділікпен, біркелкі шыбықпен, параллель тураланулармен шығарылатын болады. Материалдарды дәл өңдеу WAPER-ді өңдеу кезінде сызып кететін тегіс вафли мен түсіруді қолдайды. Нақты ұялы аралық барлық вафлиге біркелкі температура мен ауа ағынына мүмкіндік береді, бұл технологиялық және диффузиядағы біркелкілікке ықпал етеді, бұл технологиялық өзгергіштікті төмендету кезінде біркелкілікті арттырады.

ӘЖК-де керемет термиялық өткізгіштік, өлшемді тұрақтылық бар және бірнеше рет термиялық велосипедпен сенімді орындауды қамтамасыз етеді. Материал тұрақты және бүлінбейді немесе сынбайды; Оның жоғары қаттылығы ұзақ уақыт бойы жоғары температурада құрылымдық тұтастықты сақтайды, бұл ұзақ уақыт ішінде, үйкеліс немесе микро-тербеліске байланысты қажет емес бөлшектердің ықтималдығын шектеу кезінде механикалық кернеуді едәуір төмендетеді.

Сонымен қатар,СиріктіХимиялық заттарға деген керевтендіру вафлиді технологиялық газдарға реакциядан қорғайды (мысалы, оттегі, сутегі, аммиген), әдетте, өңдеу кезінде қатысады. Вафли кассеталар тотықтырғыш және тоткайдандыратын атмосферада тұрақты, және пештің жұмыс процесіне тотығу, диффузиялық, LPCVD және тазарту сияқты бірқатар процестерге енгізілуі мүмкін.

Нақты процесс талаптарына сай, SemicoreX әр түрлі өлшемдегі, ұялы есептер мен конфигурациялардағы SIMCOREX-тің вафли кассеталарын ұсынады. Әрбір бірлік тегістік, тазалық пен өлшемді дәлдікті қамтамасыз ету үшін сапалы тексеруден және беттік өңдеуден өтеді. Қосымша бетті жылтырату одан әрі бөлшектерді өндіруді азайтады және вафлидің автоматтандырылған жүйелерімен үйлесімділікті арттырады.