SiC вафли тасымалдаушысы

Semicorex SiC вафельді тасымалдаушы - бұл экстремалды термиялық және химиялық өңдеу орталары арқылы бірнеше жартылай өткізгіш пластиналарды қолдауға және тасымалдауға арналған жоғары тазалығы бар арнайы құрылғы. Semicorex осы жаңа буын пластинкаларын 3D басып шығарудың озық технологиясын қолдана отырып қамтамасыз етеді, бұл вафельді дайындаудың ең талап етілетін жұмыс процестері үшін теңдесі жоқ геометриялық дәлдік пен материал тазалығын қамтамасыз етеді.

Дәлдікті қайта анықтау: 3D басып шығарылғанЖоғары таза SiC

Көптеген бөліктерден өңдеу немесе құрастыру сияқты пластинаны тасымалдаушыларға арналған дәстүрлі өндіріс әдістері жиі геометриялық күрделілік пен қосылыстың тұтастығында шектеулерге тап болады. Қосымша өндірісті (3D басып шығару) пайдалана отырып, Semicorex маңызды техникалық артықшылықтарды ұсынатын SiC вафли тасымалдаушыларын шығарады:

Монолитті құрылымдық тұтастық: 3D басып шығару біртұтас, біртұтас құрылымды жасауға мүмкіндік береді. Бұл дәстүрлі байланыстыруға немесе дәнекерлеуге байланысты әлсіз нүктелерді жояды, жоғары температура циклдары кезінде құрылымның бұзылуы немесе бөлшектердің төгілу қаупін айтарлықтай төмендетеді.

Күрделі ішкі геометриялар: Жетілдірілген 3D басып шығару дәстүрлі CNC өңдеу арқылы қол жеткізу мүмкін емес оңтайландырылған ұяшық конструкциялары мен газ ағыны арналарына мүмкіндік береді. Бұл пластинаның консистенциясын тікелей жақсарта отырып, пластинаның бетіндегі технологиялық газдың біркелкілігін арттырады.

Материалдық тиімділік және жоғары тазалық: Біздің процесте жоғары таза SiC ұнтағы пайдаланылады, нәтижесінде металл қоспалары аз тасымалдаушы болады. Бұл сезімтал диффузия, тотығу және LPCVD (төмен қысымды химиялық буларды тұндыру) процестерінде айқас ластануды болдырмау үшін өте маңызды.

Экстремалды ортадағы өнімділік

Semicorex SiC вафельді тасымалдаушылар кварц және басқа керамикалық бұйымдар істен шыққан жерде жақсы жұмыс істеу үшін жасалған. тән қасиеттеріжоғары таза кремний карбидіжартылай өткізгіштердің заманауи өндірісі үшін сенімді негізді қамтамасыз ету:

1. Жоғары термиялық тұрақтылық

Кремний карбиді1350°C-тан асатын температурада ерекше механикалық беріктікті сақтайды. Оның жылу кеңеюінің төмен коэффициенті (CTE) тасымалдаушы слоттарының тіпті жылдам қыздыру және салқындату кезеңдерінде де тамаша тураланған күйінде қалуын қамтамасыз етеді, вафлидің «жүруіне» немесе қымбат сынуға әкелуі мүмкін қысылуына жол бермейді.

2. Әмбебап химиялық төзімділік

Агрессивті плазмалық оймалаудан бастап жоғары температуралы қышқыл ванналарына дейін біздің SiC тасымалдаушыларымыз іс жүзінде инертті. Олар фторланған газдар мен концентрлі қышқылдардың эрозиясына қарсы тұрады, бұл пластинаның ұяшықтарының өлшемдерінің жүздеген циклде тұрақты болып қалуын қамтамасыз етеді. Бұл ұзақ өмір сүру кварц баламаларымен салыстырғанда меншіктің жалпы құнын (ТШО) айтарлықтай төмендетеді.

3. Жоғары жылу өткізгіштік

SiC жоғары жылу өткізгіштігі жылудың тасымалдаушы бойына біркелкі таралуын және пластинкаларға тиімді берілуін қамтамасыз етеді. Бұл «шеттен орталыққа» температура градиенттерін азайтады, бұл пакетті өңдеу кезінде біркелкі пленка қалыңдығына және қоспа профиліне қол жеткізу үшін маңызды.

Өнеркәсіптік қолданбалар

Semicorex SiC вафельді тасымалдаушылар келесі жағдайларда өнімділігі жоғары партияларды өңдеудің алтын стандарты болып табылады:

Диффузия және тотығу пештері: жоғары температурадағы қоспалау үшін тұрақты қолдауды қамтамасыз ету.

LPCVD / PECVD: пластинаның бүкіл партияларында біркелкі пленка тұндыруын қамтамасыз ету.

SiC эпитаксиясы: кең диапазондағы жартылай өткізгіштердің өсуіне қажетті экстремалды температураларға төтеп беру.

Таза бөлмеде автоматтандырылған өңдеу: FAB автоматтандыруымен үздіксіз интеграциялау үшін дәл интерфейстермен жасалған.