SiC вафельді қайықтар

Silicon Carbide (SiC) керамикасынан жасалған Semicorex SiC вафельді қайық жоғары температуралы орталарда теңдесі жоқ өнімділікпен жартылай өткізгіштер өнеркәсібінің талаптарын қанағаттандыру жолында жетекшілік етеді. Жартылай өткізгіштер өнеркәсібі микрофабриканың шекараларын тынымсыз итермелейтіндіктен, серпімді және берік материалдарға сұраныс бірінші орынға шығады.

SiC вафли қайығы диффузия, тотығу және химиялық бу тұндыру (CVD) сияқты жылу процестері кезінде бірнеше пластиналарды ұстауда және қолдауда шешуші рөл атқарады. Бұл процестер бақыланатын атмосферада пластиналарды өте жоғары температураға, көбінесе 1000°C-тан асатын әсер етуді қамтиды. Бұл термиялық өңдеулердің біркелкілігі мен дәйектілігі өндірілетін жартылай өткізгіш құрылғылардың сапасы мен өнімділігін қамтамасыз ету үшін өте маңызды. SiC вафли қайығының деформациясыз немесе деградациясыз осындай жоғары температураға төтеп беру қабілеті пластинаның біркелкі өңделуін қамтамасыз етеді, бұл құрылғының жоғары өнімділігі мен өнімділігіне әкеледі.

SiC пластиналы қайықтардың ерекше жылу өткізгіштігі жартылай өткізгіш құрылғылардағы ақауларға әкелетін температура градиенттерінің қаупін барынша азайта отырып, барлық пластиналар бойынша біркелкі жылудың таралуына кепілдік береді. Сонымен қатар, SiC жылу кеңеюінің төмен коэффициенті (CTE) қыздыру және салқындату циклдері кезінде минималды термиялық кеңею мен жиырылуына әкеледі. Бұл тұрақтылық механикалық кернеудің және пластинкалардың ықтимал зақымдалуының алдын алу үшін өте маңызды, әсіресе құрылғының геометриясын қысқарту кезінде.

Термиялық процестер кезінде пластиналар SiC пластинкасының материалдарымен әрекеттесе алатын әртүрлі реактивті газдардың әсеріне ұшырайды. SiC тамаша химиялық төзімділігі оның осы газдармен әрекеттеспеуіне кепілдік береді, ластануды болдырмайды және пластинаның тазалығын қамтамасыз етеді. Бұл әсіресе ластанудың аз мөлшері ақауларға әкеліп соғатын және құрылғы сенімділігін төмендететін жетілдірілген жартылай өткізгіш құрылғыларды өндіруде өте маңызды.