SiC тік қайықтар

Semicorex SiC Vertical Boats - тік пеште жартылай өткізгіштерді өңдеу үшін ең жоғары термиялық, механикалық және химиялық тұрақтылықты қамтамасыз ету үшін әзірленген және жасалған вафельді тасымалдаушылар. Жоғары тазалықтан жасалғанкремний карбиді, олар тік пеш жүйелерінде тотығу, диффузия, LPCVD және күйдіру ретінде атап өтілген өте жетілдірілген пластинаны термиялық өңдеу үшін беріктік, беріктік және тазалықтың ең жақсы балансы деп санаймыз.

Пештің тік өңдеу орталары жоғары температурада, жиі 1200°C-тан асатын қайталанатын әсерлерге төтеп бере алатын және ластану мәселелерінсіз өлшемді тұрақты болып қалатын вафельді қолдау жүйесін қажет етеді. SiC Vertical Boats бұл жағдайларда қайта кристалданған немесе CVD кремний карбидінің ішкі механикалық және жылулық қасиеттеріне байланысты беріктігімен ерекшеленеді. Олардың өте төмен термиялық кеңею коэффициенті жылдам термиялық циклге байланысты ең аз деформацияны немесе бұрмалануды қамтамасыз етеді. Сонымен қатар, жоғары жылу өткізгіштік барлық пластиналар бойынша ең үлкен жергілікті температура біртектілігін ұсынады, бұл қабат қалыңдығы, қоспа профильдері және электрлік өнімділік бойынша вафлиден пластинаның консистенциясы үшін өте маңызды; жартылай өткізгіштер өнеркәсібіндегі жоғары көлемді өндірістің маңызды аспектілері.

Дәстүрлі кварц қайықтарымен салыстырғанда, SiC тік қайықтар жоғары механикалық беріктік пен ұзартылған қызмет мерзімін қамтамасыз етеді. Кварц сынғыш болады және уақыт өте келе бұзылады, әсіресе агрессивті пеш химиясында, бұл ауыстыру шығындарының жоғарылауына және өндірістің ықтимал үзілістеріне әкеледі. Керісінше, кремний карбиді әртүрлі диффузиялық және LPCVD процестерінде жиі кездесетін хлор, HCl немесе аммиак сияқты коррозиялық газдардың ұзақ әсерінен кейін де өзінің тұтастығын сақтайды. Оның ерекше тозуға және тотығуға төзімділігі бөлшектердің пайда болуын айтарлықтай азайтады, бұл пластинаның беттерін ластанудан және ақаулардың пайда болуынан қорғауға көмектеседі.

SiC Vertical Boats сонымен қатар ультра таза өңдеу тұрғысынан айтарлықтай артықшылық береді. Жоғары таза SiC материалы жартылай өткізгіш құрылғылардың жұмыс сипаттамаларына кедергі келтіруі мүмкін анықталатын ластаушы металдарды азайту үшін қатаң бақылаумен өңделеді. SiC Vertical Boat беттері микро бөлшектердің төгілу мүмкіндігін азайтатын тік бұрышты мүмкіндіктермен жақсы өңделген. SiC беттері химиялық инертті және технологиялық газдармен әрекеттеспейді, сондықтан ластануға бейімділігі төмен. Осыған байланысты SiC Vertical Boats желінің алдыңғы жағын (FEOL) және желінің артқы ұшын (BEOL) пластинаны өңдеу операциялары үшін өте қолайлы.

SiC Vertical Boats сонымен қатар дизайн икемділігін ұсынады. Әрбір тік қайық пластинаның бірнеше диаметрін (150 мм, 200 мм немесе 300 мм пластиналар) орналастыру үшін арнайы дизайнға ие болуы мүмкін және саңылау нөмірі мен аралық процесс талаптарын қанағаттандыру үшін пайдаланылуы мүмкін. Дәл өңдеу және өлшемді бақылау пластинаны дұрыс туралауға және тиеу, өңдеу және түсіру кезінде кез келген микро сызаттар немесе кернеулі жарықтар ықтималдығын азайтуға мүмкіндік береді. Сондай-ақ, егер белгілі бір процесс үшін жоғары температура біркелкілігі және/немесе аз жылу массасы қажет болса, оңтайландырылған геометриялар мен ұяшық конструкциялары кез келген механикалық қасиеттерді жоғалтпай, SiC Vertical Boat конфигурацияларына енгізілуі мүмкін.

Тағы бір артықшылығы - техникалық қызмет көрсету және пайдалану тиімділігі. -ның қатаң құрылысыSiCVertical Boats ауыстыру уақыты мен жиілігін азайтады, осылайша тоқтап қалу уақытын немесе иелену құнын азайтады. SiC термиялық соққыға төзімділігі өндірістік желілерде жоғары өткізу қабілеттілігін қамтамасыз ету үшін қыздыру және салқындату циклдарының қысқаруына мүмкіндік береді. SiC тік қайықтарына техникалық қызмет көрсету немесе тазалау да өте қарапайым; материал қышқылдармен химиялық тазалау және жоғары температурада пісіру сияқты жартылай өткізгіш зауыттарда жиі кездесетін әдеттегі ылғалды немесе құрғақ тазалау процестеріне төзе алады.

Шығымды жақсарту, ластануды бақылау және процесте тұрақтылық маңызды болып табылатын күрделі жартылай өткізгіштерді жасаудың осы заманауи дәуірінде SiC тік қайықтар шынайы технологиялық артықшылықты ұсынады. Олар тік пешті қолданудың физикалық және химиялық қиындықтарымен жақсы айналысады және пластинаның тұтастығын, дәйекті нәтижелерді және жабдықтың ұзақ қызмет ету мерзімін қамтамасыз ету арқылы жалпы процесті оңтайландыруға ықпал етеді.