SIC тік қайықтар

SEMCOREX SIC тік қайықтары инженерленген вафли-вафли-вафли-тасымалдаушылар болып табылады, бұл тік пештің жартылай өткізгіштерін қайта өңдеу үшін ең жоғары жылу, механикалық және химиялық тұрақтылықты қамтамасыз етеді. Жоғары тазалықпен салынғанкремний карбиді, Біз олардың ең жақсы тепе-теңдігі, бұл өте жақсы, беріктік және озық вафлидің тазалығы, тотығу, диффузиялық, LPCVD және тік пештер жүйелерінде тазарту.

Тік пешті өңдеу орталары жоғары температурада, көбінесе 1200 ° C-тан асатын және ластануларсыз тұрақты тұрақты экспозицияға төтеп бере алатын вафлиді қолдау жүйесін қажет етеді. SIC тік қайықтары қайта тірек немесе CVD кремний карбидінің ішкі механикалық және жылу қасиеттеріне байланысты осы жағдайларда оқытылады. Олардың өте төмен жылу кеңею коэффициенті тез термиялық велосипедпен айналысуға байланысты минималды бұтақтарды немесе бұрмалануды қамтамасыз етеді. Бұған қоса, жоғары жылу өткізгіштік, барлық вафлидің біртектілігі, барлық вафлидің біртектілігін ұсынады, бұл қабаттардың қалыңдығы, допинг профильдері және электрлік өнімділік; Жартылай өткізгіш өнеркәсіпте жоғары көлемді өндірістің маңызды аспектілері.

Кварц дәстүрлі қайықтарымен салыстырғанда, SIC тік қайықтары жоғары механикалық беріктігі және қызмет ету мерзімін ұзартты. Кварц уақыт өте келе сынғыш болып, уақыт өте келе, әсіресе агрессивті пештің химиялық құрамдарында, жоғары ауыстыру шығындары мен өндірістік үзілістерге әкеледі. Керісінше, кремний карбиді әр түрлі диффузиялық және LPCVD процестерінде жиі кездесетін хлор, HCL немесе аммиак сияқты коррозиялық газдарға әсер етеді. Оның ерекше тозуы және тотығу кедергісі вафли беттерін ластанудан және ақау пайда болудан қорғауға көмектесетін бөлшектердің буынын айтарлықтай азайтады.

Сондай-ақ, SIC тік қайықтары ультра таза өңдеу жағынан айтарлықтай пайда ұсынады. Жоғары сапалы SIC материалы жартылай өткізгіш құрылғылардың операциялық сипаттамаларына кедергі келтіруі мүмкін металдарды азайту үшін қатаң мұқият зерделенеді. SIC тік қайықтары микро бөлшектердің төгілу мүмкіндігін азайтатын оң жақ белгілермен жақсы аяқталады. SIC беттері химиялық түрде инертті және технологиялық газдармен реакция жасамайды және сондықтан ластануға аз бейім. Осыған байланысты, SIC тік қайықтары вафлидің вафлиді өңдеудің алдыңғы жағында (FEOL) және артқы аяқтың алдыңғы ұшына жақсы сәйкес келеді.

SIC тік қайықтары да дизайн икемділігін ұсынады. Әрбір тік қайық бірнеше вафли диаметрлерін орналастыруға арналған (150 мм, 200 мм немесе 300 мм вафли) және ұялы нөмірлер мен озық режимді орналастыруға болады. Нақты өңдеу және өлшемді басқару Вафлиді түзетуге және вафлиге қолдау көрсетуге мүмкіндік береді және вафли қолдауы, тиеу, өңдеу және түсіру кезінде кез-келген микро-сызаттар немесе стресс жарықтарының ықтималдығын азайтуға мүмкіндік береді. Сондай-ақ, температура біртұтастығы және / немесе одан аз жылу массасы белгілі бір процес үшін қажет болса, оңтайландырылған геометриялар мен ұяшықтарды оңтайландырылған геометриялар мен слот дизайнында, кез-келген механикалық қасиеттерін жоққа шығаруға болады.

Тағы бір артықшылығы - техникалық қызмет көрсету және пайдалану тиімділігі. Қатты құрылысСиріктіТік қайықтар ауыстыру уақыты мен жиілігін азайтады, осылайша меншіктің жұмыс уақытын немесе өзіндік құнын азайтады. SIC-тің жылулыққа төзімділігі жылу және салқындатудың қысқа циклдеріне, өндірістік желілерге жоғары өткізу қабілеттілігін жеткізуге мүмкіндік береді. Тік қайықтарды ұстау немесе тазарту да өте қарапайым; Материал жартылай өткізгіштік-құрғақ тазалау процестеріне төтеп бере алады, мысалы, қышқылдармен химиялық тазалау және жоғары температурада пісіру.

Осы заманауи заманауи жастағы жартылай өткізгіш өндірістің заманауи жасында, онда ластануды бақылау және процесстің тұрақтылығы барлық маңызы бар, олар барлық маңызды технологиялық артықшылықты ұсынады. Олар тік пештің фирмалық және химиялық сын-қатерлерімен жақсы жұмыс істейді және ватфердің тұтастығын, дәйекті нәтижелерге және жабдықтардың ұзақ мерзімін жеткізіп, процесті оңтайландыруға ықпал етеді.