Sic вакуумдық чактар

SubicorexКремний карбидіSIC вакуумдық чактар - бұл дәл материалдарды кетіру кезінде жартылай өткізгіштік вафлиді қауіпсіз және сенімді түрде өткізуге арналған жоғары технологиялық керамикалық құралдар. Олар ультра таза, жоғары температуралы және химиялық қатаң ортада қолдануға арналған. SIC вакуумдық чактар жоғары вафли адсорбциясы мен туралауға көмектеседі. SIMCOREX SIC вакуумдық чактары керемет механикалық беріктікті, жылу өткізгіштік және химиялық беріктікті қамтамасыз ету үшін кремний карбидтер керамикасынан шығарылады.

Вакуумдық Чактың негізгі жұмысы - вафли бетіне біркелкі сору - вафли инспекция, тұндыру, этч және литография сияқты тұрақты ұсталатындай етіп тарту. Әдеттегі вакуумдық чактарда бөлшектердің ұрпақтарымен, кері немесе химиялық нашарлау проблемалары бар. Төсемдік өндірісті өндірудің төтенше жағдайлары үшін SIC вакуумдық чактар ұзақ мерзімді ұзақ мерзімді және тұрақтылықты қамтамасыз етеді.

Кремний карбид материалдары олардың қаттылығы, жылу тұрақтылығы және жылу кеңею коэффициенті үшін жоғары бағаланады. Бұл материалдар температураның кең спектрінен тұрып, термиялық тұрақтылыққа, термиялық сәйкессіздікке жол бермейді және вафлиге жылусыздықты жақсартады. Олардың жоғары термиялық өткізгіштігі тез жылу жылуды таратуға мүмкіндік береді, бұл тез жылудың алдын-алу жағдайларында пайдалы немесе жоғары энергиялы плазмаларда қысқа мерзімді экспозициялар үшін пайдалы.

Sic Ceram Ceram тек жылу және механикалық артықшылықтары ғана емес, сонымен қатар плазмалық коррозияға және агрессивті газдарға төзімді. Бұл мүмкіндік SIC вакуумды, әсіресе құрғақ ішке, CVD, CVD және PVD процестері үшін, онда кварц немесе алюминий нитридтік материалдар қолдану арқылы нашарлайды. ӘЖК химиялық инерстегі ластануды шектейтін және жұмыс уақытын жақсартуға көмектеседі.

Жоғары нәтиже беру үшін. Subicorex Sice вакуумын шығарады және Micron-дағы арна құрылымдары бар ультра жалпақ беттермен өте тығыз толеранттарды көрсетіңіз. Осы мүмкіндіктермен, ол вафлиді және вафлиді уақтылы уақтылы қолдауды қамтамасыз етеді, вафлиді қолдайды немесе вафлидің өздері сынуы мүмкіндігін азайтады. Әр түрлі вафли өлшемдеріне сәйкес, әр түрлі вафли өлшеміне сәйкес келеді (2 «12»).

Жоғары өнімділік ретінде, процестерді бақылау және сенімділік факторлар болып табылады, SIC вакуумдық чактары келесі буынды жартылай өткізгіш жабдықтардың жаңа маңызды компоненттері болып табылады. SIC вакуумдық чактардың өтінімдері тікелей жоғарылату, жабдықтардың жоғарылауымен, жабдықтың сенімділігіне және өңдеуге бағытталған.