SiC вакуумдық патрон

Semicorex SiC вакуумдық патрон - жартылай өткізгіш пластиналарды өңдеудің маңызды кезеңдерінде жоғары тұрақтылық пен сенімділікпен қауіпсіз ұстайтын арнайы жасалған құрал. SiC вакуумдық патронның CVD SiC жабыны ерекше механикалық беріктік, химиялық төзімділік және термиялық тұрақтылықты қамтамасыз етеді, бұл нәзік пластиналарды кез келген ықтимал зақымданудан немесе ластанудан қорғауды қамтамасыз етеді.

SiC вакуумдық патронының графит пен SiC жабынының бірегей комбинациясы жоғары жылу өткізгіштік пен жылу кеңеюінің минималды коэффициентін ұсынады. Бұл жылуды тиімді таратуға және пластинаның бетінде біркелкі температураны бөлуге мүмкіндік береді. Бұл мүмкіндіктер өңдеудің оңтайлы шарттарын сақтау және жартылай өткізгіштерді өндіру процестеріндегі кірісті арттыру үшін өте маңызды.

SiC вакуум патроны вакуумдық орталармен де үйлесімді, бұл патрон мен вафли арасындағы жоғары адгезияны қамтамасыз етеді. Бұл жоғары дәлдіктегі операциялар кезінде сырғанау немесе туралану қаупін жояды. Оның кеуекті емес беті және инертті қасиеттері жартылай өткізгіштерді өндіру ортасының тазалығы мен тұтастығын сақтай отырып, кез келген газдың шығуын немесе бөлшектердің ластануын болдырмайды.

Semicorex SiC вакуумдық патрон жартылай өткізгіштер өндірісіндегі іргетас технологиясы болып табылады, ол саланың дамып келе жатқан талаптарын қанағаттандыру үшін теңдесі жоқ өнімділік пен ұзақ мерзімділікті ұсынады. Литографияда, өрнектеуде, тұндыру немесе басқа да маңызды процестерде қолданылғанына қарамастан, бұл жетілдірілген шешім жартылай өткізгіш пластиналарды өңдеу және өңдеуде жоғары стандарттарды қайта анықтауды жалғастырады.