SIC кеуекті керамикалық патрондар

Жартылай өткізгішті өңдеудің ілгерілеуімен және электронды компоненттерге сұраныстың өсуімен ультра жұқа пластиналарды қолдану барған сайын маңызды бола бастады. Әдетте, қалыңдығы 100 мкм-ден аз пластиналар ультра жұқа пластиналар деп аталады. Дегенмен, пластиналарды 100 мкм-ден төменге дейін жұқартқанда, олар айтарлықтай сынғыштықты көрсетеді және олардың механикалық беріктігі кейіннен төмендейді, бұл пластинаның деформациялану, майысу немесе тіпті сыну қаупінің жоғары болуына әкеледі. Осы себепті Semicorex SiC кеуекті керамикалық байланыстырғыш патрондарын пайдалануды таңдау, байланыстыру процесінде қауіпсіз бөлуге қол жеткізу үшін ультра жұқа пластиналарды сенімді қолдау мен қорғауды қамтамасыз ете алатын дана шешім болып табылады.

Semicorex SiC кеуекті керамикалық патрондардың артықшылықтары

1.Материалдың ерекше қасиеттері

Шамамен 9,5 Mohs қаттылығымен ерекшеленеді, SemicorexSiC кеуекті керамикалық байланыстырғыш патрондаререкше тозуға төзімділігімен мақтана алады және қайталанатын вакуумдық адсорбцияға ұзақ уақыт бойы төтеп бере алады және байланыстарды ажырату процесінде сенімді төзімділікпен босату операцияларына төтеп бере алады.

Бұған қоса, жоғары жылу өткізгіштігімен Semicorex SiC кеуекті керамикалық байланыстырғыш патрондары жылуды жылдам өткізуге арналған, бұл вафлилерді нашарлатуы немесе зақымдауы мүмкін жергілікті қызып кетуді тиімді болдырмайды, әсіресе жоғары температурада байланыстыру процесіне жарамды.

2.Өнімділігі жоғары кеуекті керамикалық құрылым

Жоғары сапалы материалдан жасалғанкремний карбидіжоғары температурада агломерациялау арқылы ұнтақ, Semicorex SiC кеуекті керамикалық байланыстырғыш патрондар ішінде біркелкі бөлінген көптеген өзара байланысты микро-кеуектер бар. Кеуектілігі 30 (±5)% және 2-25 мкм арасында дәл бақыланатын кеуек өлшемі бар Semicorex SiC кеуекті керамикалық байланыстырғыш патрондары ажырату процесі кезінде ультра жұқа пластиналардың біркелкі кернеуін қамтамасыз ете алады, осылайша пластинаның деформациялану және сыну қаупін айтарлықтай төмендетеді.

3.Тегістігін дәл бақылау

Жетілген өңдеу және бетті өңдеу технологияларын пайдалана отырып, Semicorex SiC кеуекті керамикалық байланыстырғыш патрондары 0,02 мм-ден төмен бақыланатын параллельділікке және 0,02 мм-ден төмен екі жақты тегістікке қол жеткізеді. Бұл тамаша тегістік пен параллелизм ультра жұқа пластиналарды ажырату процесі үшін тұрақты және тегіс тірек платформасын қамтамасыз етіп, ажырату процесінің дәлдігі мен сенімділігіне тиімді кепілдік береді.

4.Икемді өлшем опциялары

Semicorex SiC кеуекті керамикалық байланыстырғыш патрондары 6 дюйм және 8 дюймдік пластинаны өңдеуге өте ыңғайлы және әртүрлі стандартты өлшемдерде, соның ішінде диаметрі 159 мм × 0,75 мм, диаметрі 200 мм × 1 мм қалыңдығы, 204 мм диаметрі × 1,5 мм қалыңдығы бар.