SiC ICP тақтасы

Semicorex SiC ICP тақтасы ерекше физикалық және химиялық қасиеттерімен танымал кремний карбидінен жасалған. Оның берік табиғаты жартылай өткізгіштерді өңдеудің қатал орталарында маңызды факторлар болып табылатын термиялық соққыға, тотығуға және коррозияға жоғары төзімділікті қамтамасыз етеді. SiC материалын пайдалану пластинаның қызмет ету мерзімін айтарлықтай ұзартады, ауыстыру жиілігін азайтады және осылайша техникалық қызмет көрсету шығындары мен өндіріс орындарындағы бос уақытты азайтады.

SiC ICP пластинасы жартылай өткізгіш пластиналарды жасау үшін іргелі болып табылатын плазманы өңдеу және тұндыру процестерінде шешуші рөл атқарады. Осы процестер кезінде SiC ICP пластинасының жоғары жылу өткізгіштігі мен тұрақтылығы дәл температураны бақылауды және плазманың біркелкі таралуын қамтамасыз етеді, бұл дәйекті және дәл ою және тұндыру нәтижелеріне қол жеткізу үшін өте маңызды. Бұл дәлдік барған сайын кішірейтілген және күрделі жартылай өткізгіш құрылғыларды өндіруде өте маңызды, мұнда тіпті шамалы ауытқулар айтарлықтай өнімділік мәселелеріне әкелуі мүмкін.

SiC ICP пластинасының ерекше ерекшеліктерінің бірі оның ерекше механикалық беріктігі болып табылады. Кремний карбидінің өзіне тән қаттылығы мен қаттылығы тіпті төтенше жағдайларда да тамаша құрылымдық тұтастықты қамтамасыз етеді. Бұл беріктік жоғары қарқынды плазмалық процестер кезінде неғұрлым тұрақты және сенімді өнімділікке аударылады, құрамдас бөліктердің істен шығу қаупін азайтады және үздіксіз, үзіліссіз жұмысты қамтамасыз етеді. Сонымен қатар, дәстүрлі металл аналогтарымен салыстырғанда материалдың жеңіл табиғаты өңдеу мен орнатуды жеңілдетеді, жұмыс тиімділігін одан әрі арттырады.

Физикалық атрибуттарынан басқа, SiC ICP тақтасы тамаша химиялық тұрақтылықты ұсынады. Ол жартылай өткізгішті өңдеу және тұндыру орталарында кең таралған реактивті плазма түрлеріне тамаша төзімділік көрсетеді. Бұл қарсылық пластина өзінің тұтастығы мен өнімділігін ұзақ уақыт бойы, тіпті плазмалық процестерде қолданылатын агрессивті химиялық заттар болған жағдайда да сақтауды қамтамасыз етеді. Демек, SiC ICP пластинасы жартылай өткізгіш пластиналардағы ластану мен ақаулардың ықтималдығын азайтып, таза өңдеу ортасын қамтамасыз етеді.