SIC Көлденең пеш түтіктері

SIC көлденең пеш құбырларыәдетте жартылай өткізгішті немесе фотоэлектрлік өндіріс жабдықтарының негізгі қыздыру аймағында орналасқан пеш жүйесінің таптырмас тасымалдаушылары болып табылады. Олар қыздыру элементтерімен, температураны реттеу жүйелерімен, газды басқару жүйелерімен және вафельді қайықтармен бірге пештің толық жүйесін құрайды.

Нақты жұмыс кезінде SIC көлденең пеш түтіктері кремний карбидті материалдардың тамаша жылу өткізгіштігінің көмегімен жылуды пеш түтіктеріне біркелкі тасымалдайтын қыздырғыш элементтермен қыздырылады. Бұл кезде пеш түтігіне арнайы технологиялық газдар (мысалы, оттегі, азот, қоспа газдары және т.б.) енгізіледі. Осы жоғары температуралы газ атмосферасының әсерінен пеш ішіндегі жартылай өткізгіш материалдар химиялық реакцияларға немесе физикалық өзгерістерге ұшырап, ақырында материалды модификациялауға, легирлеуге немесе құрылымдық оңтайландыруға қол жеткізеді.

Semicorex компаниясының SIC көлденең пеш түтіктері керемет механикалық беріктік пен қаттылық береді, бұл үлкен көлемдегі вафлиді өңдеу мен өңдеуді қамтитын қолданбаларда маңызды рөл атқарады. SIC көлденең пешінің түтіктері тотығу, диффузия және күйдіру сияқты термиялық өңдеу процестерінде пластиналарды тұрақты қолдауды қамтамасыз ете алады, бұл пластинаның жоғары температурада өңдеу кезінде дұрыс күйде болуын қамтамасыз етеді және термиялық кернеуден туындаған орын ауыстыруды немесе деформацияны болдырмайды.

Semicorex компаниясының SIC көлденең пеш түтіктері жоғары тазалықтан жасалғанкремний карбидті керамикақұрамында өте төмен қоспалары бар, содан кейін CVD тұндырукремний карбиді жабыныолардың бетінде. Бұл өндіру әдісі SIC көлденең пеш түтіктеріне қорғаныс қабатын қосады, бұл олардың уақыт өте жоғары температурада және коррозиялық ортада тұрақты жұмыс істеуіне мүмкіндік береді. SIC көлденең пеш түтіктерінің коррозияға төзімділік көрсеткіштері коррозияға байланысты құрамдас бөліктердің зақымдалу қаупін тиімді төмендету және жиі ауыстыру мен техникалық қызмет көрсету қажеттілігін азайту арқылы жартылай өткізгіш пластиналар өндірісінің тиімділігін арттырады.

Көптеген жоғары қасиеттерге ие бола отырып, Semicorex SIC көлденең пеш түтіктері тотығу процесі, диффузия процесі, жасыту процесі және төмен қысымды химиялық буларды тұндыру сияқты фотоэлектрлік және жартылай өткізгіш салалардағы көптеген жоғары температуралы өңдеу процестерінде кеңінен қолданылады.