SiC фокус сақиналары

Semicorex жетілдірілген, тазалығы жоғары SiC фокус сақиналары плазмалық тазарту (немесе құрғақ тазарту) камераларындағы төтенше орталарға төтеп беру үшін жасалған. Біз кремний карбиді қабаттары және эпитаксистік жартылай өткізгіш сияқты жартылай өткізгіш салаларға назар аударамыз. Біздің өнімдер жақсы баға артықшылығына ие және көптеген еуропалық және американдық нарықтарды қамтиды. Біз сіздің Қытайдағы ұзақ мерзімді серіктес болуды асыға күтеміз.

Сұрау жіберу

Өнім Сипаттамасы

Semicorex қамтамасыз етеді SiC Focus Rings RTA, RTP немесе қатты химиялық тазалау үшін шынымен тұрақты. SiC фокус сақиналары немесе жиек сақиналары вафли жиегінің немесе периметрінің айналасында тегістеу біркелкілігін жақсартуға арналған. Ластануды және жоспардан тыс техникалық қызмет көрсетуді плазмалық өңдеудің күрделілігіне арналған жоғары тазалықтағы компоненттермен азайтыңыз. SiC жабыны бар SiC фокус сақиналары - бұл тығыз, тозуға төзімді кремний карбиді (SiC) жабыны. Ол жоғары коррозияға және ыстыққа төзімді қасиеттерге, сондай-ақ тамаша жылу өткізгіштікке ие. Біз химиялық бу тұндыру (CVD) процесін пайдалана отырып, графитке жұқа қабаттарда SiC жағамыз.

SiC фокус сақиналарының параметрлері

CVD-SIC жабынының негізгі сипаттамалары
SiC-CVD қасиеттері
Кристалл құрылымы	FCC Î² фазасы
Тығыздығы	г/см³	3.21
Қаттылық	Викерс қаттылығы	2500
Астық мөлшері	Î¼м	2~10
Химиялық тазалық	%	99.99995
Жылу сыйымдылығы	Дж·кг-1 ·К-1	640
Сублимация температурасы	℃	2700
Жіңішке күш	МПа (RT 4-нүкте)	415
Young's модулі	Gpa (4pt иілісі, 1300â)	430
Термиялық кеңею (C.T.E)	10-6К-1	4.5
Жылу өткізгіштік	(Вт/мК)	300

SiC фокус сақиналарының ерекшеліктері

- Қызмет мерзімін ұзарту үшін CVD кремний карбиді жабындары.

- Жоғары өнімді тазартылған қатты көміртектен жасалған жылу оқшаулау.

- Көміртек/көміртекті композитті қыздырғыш және пластина.- Графиттік негіз де, кремний карбиді қабаты да жоғары жылу өткізгіштікке және тамаша жылу тарату қасиеттеріне ие.

- Жоғары таза графит және саңылауларға төзімділік және ұзақ қызмет ету үшін SiC жабыны