Сич саусақтар

Semicorex Sice саусақтары - бұл негізгі қосымшалары жартылай өткізгіш технологиялық қондырғыларда, арнайы вафли және қолдау жүйелерінде болатын мамандандырылған бөлшектер. Олардың негізгі функциясы - эпитакси, ион имплантациясы немесе термиялық өңдеу сияқты процестер кезінде, мысалы, эпитакси, ион имплантациясы немесе жылумен емдеу, онда сенімділікпен қатар, өте маңызды. Кремний карбиді механикалық беріктікті керемет жылу және химиялық тұрақтылықпен үйлестіреді, ал бұл сипаттамалар алдыңғы жартылай өткізгіштермен жабдықталған, сондықтан SIC саусақтары осындай қосымшаларда қажет.

Сату ерекшелігікремний карбидіМатериал ретінде өзінің механикалық тұтастығын жоғалтпай, өте жоғары жұмыс температурасына төтеп беру мүмкіндігі. Жартылай өткізгіш процестерде эпитаксиальды өсу сияқты, вафли кенеттен және ұзақ уақытқа көтеріліп тұр. Бір кездері сик-саусақтар жоғары температуралы циклдер бойы өздігінен қалады, сондықтан вафли, егер вафли қалталы болып қала беріп, өзгерістерді азайтып, өзгерістерді азайтып, дұрыс жұмыс істемеу үшін қозғалысты азайтып, дұрыс емес құрылымға қол жеткізіңіз. Sic Sits жоғары температуралы жүктемелерде әлдеқайда үйлескен кезде әдеттегі керамикалық немесе металл тіректерге қарағанда ұзақ қызмет көрсетеді.

СИК саусақтарының басты артықшылығы - олардың жоғары химиялық кедергісі. Барлық жартылай өткізгіш қосымшаларға реактивті газдар, плазмалар әсері, коррозиялық химикаттарға әсер ету жатады. Коррогециялық немесе ыдыраған материал вафлидің сапасын төмендетуі мүмкін бөлшектер мен ластаушы заттарды шығару арқылы жауап береді.Кремний карбидіАгрессивті химикаттарға қосылмайтын немесе реактивті беті бар, олар таза технологиялық ортаға ие болмайды немесе ластану қаупін едәуір төмендетеді. Бұл вафлиді өңдеу құралының беріктігін қосады, тұрақты және қайталанатын процесс нәтижелеріне тікелей ықпал етеді, бұл жоғары өнімділігі бар жартылай өткізгіш құрылғыларды өндіруде өте маңызды.

Дәлдік - бұл SIC саусағының дизайнында тағы бір негізгі көзқарас. Вафлиді өңдеу құрамдас бөліктерге өте тығыз төзімділігі бар, микрометр вафлидің сәйкес келмеуіне, вафлиді бұзуға немесе процестердегі сәйкессіздіктерге әкелуі мүмкін. Аймақтық және жылтыратқыш технологиясын пайдалану арқылы Sic саусақтарын ең жоғары өлшемді төзімділіктер мен беттік тегістік және тегіс қабатпен шығаруға болады. Бұл кепілдендірілген, салыстырмалы түрде инерцияға арналған вафли үшін, бөлшектердің пайда болуының төмендеуі және автоматты жартылай өткізгіш қондырғылардағы вафли қолдануға арналған қосымшалардың қайталануы.

SIC саусақтарының негізгі материалдық артықшылықтарынан басқа, олар әр жабдықты немесе процестің талабына сәйкес болуы мүмкін. Әр түрлі вафли өлшемдері, әр түрлі реактор дизайны, және оператордың әр түрлі өңдеуі нақты өндірілген шешімдерді қажет етеді. Sic саусақтарын кез-келген геометрияда немесе өлшемде жасауға болады, ал беткі өңдеуді белгілі бір қолданбаларға сәйкес қолдануға болады.

SIC саусақтары сонымен қатар, олардың ұзақ уақыт пайдаланылатын өміріне байланысты (ауыстыру жиілігінің төмендеуі) және олардың азаюына байланысты, олардың азаюы немесе олардың қысылған қысқаруы, жылу немесе химиялық стресстен ластануы бойынша төмендетіледі. Жартылай өткізгіш өндірушілер үшін беріктік пен сенімділікпен, SIC саусақтарын кәдеге жарату кезінде SIC саусақтарын пайдалану жұмыс уақытының жоғарылауына, тұтынылатын шығындардан төмен және жалпы процестердің тиімділігіне әкеледі.

Іс жүзінде, Sic саусақтары көбінесе эпитакси өсу реакторларында қолданылады, өйткені олар экстремалды жылу және химиялық процестер кезінде тұрақты вафлиді қамтамасыз етеді. Олар сонымен қатар иондық импланерлерде немесе жоғары температуралы көздерде қолданылады, онда механикалық тұрақтылық, сондай-ақ химиялық инерстер жатады. Өтінімдер бойынша, дәйекті қойылымдар сонымен қатар оларды вафлиді қолдануда, процесті біртектес, вафлидің мінсіздігін және сапасын қамтамасыз етуде қолданады.

Subicorex Sic саусақтары, артықшылықтардың күшті мысалдарыКремний карбиді материалы Жоғары температурада, химиялық төзімді, дәлдікке арналған жартылай өткізгіш компоненттер үшін. СИК саусақтарының материалдық ортасы жоғары температуралық тұрақтылықты, ерекше химиялық тұрақтылықты және жоғары дәлдікке ие болуға мүмкіндік береді. Сенімді және теңшелетін компонент тұрақты өндіріске қол жеткізу және жартылай өткізгіш өндірушілер үшін өнімнің тиімділігі мен тиімділігі мен тиімділігі үшін өте маңызды. СИК саусақтары технологиялық тұрақтылыққа және сапа кепілдігіне бағытталған фабтардың кеңейтілген және сенімді шешімі болып қала береді.