Sic қару

Subicorex Sic Ar - бұл вафлиді максималды сенімділігі мен дәлдігі бар мамандандырылған құрылғы. Вафлиді қару-жарақ, мысалы, SIC қолы эпитаксиальды реакторлар, ион имплантациясы жүйесі, жылу өңдеу және т.б. сияқты, вафлиді пайдалану орталарында, вафлиді пайдалану орталарында, вафлидің қауіпсіздігін қамтамасыз ету үшін діңгектер болып табылады. Жоғары тазалықпен салынғанкремний карбидішикізат қасиеттерімен біріктірілген 

Жылу және химиялық тұрақтылық және өте жақсы өңдеуді бақылау, SIC ARM болашақ жартылай өткізгішті өндіріске сенімді шешім қабылдайды.

SIC ARM экстремалды жылу ортасында ерекше өнімділігі бар. Эпитаксиальды өсу, сондай-ақ басқа да жоғары температуралы процестерде, вафлиді өңдеу компоненттеріне дәстүрлі материалдың сипаттамалары нашарлайтын ыстауға болады. Кремний карбиді жоғары температурада күшті және өлшемді дәлдікті (ақырғы өлшемді төзімділікті) сақтайды, бұл вафлиді ауыстыру немесе өңдеу кезінде дәл отыруға және вафлиді қатайтуға, вафлиді немесе ластануды болдырмайды. СӨЖ өнімінің ерекше өнімділігімен керамика; Әзірше қолдар сияқты, мысалы, металл тәрізді тотпайды, бұрмаланбайды және керамикалық жарықтар сияқты, керамикалық жарықтар сияқты жұмыс істемейді.

Химиялық тұрақтылық - бұл SIC ARM қасиеттерін анықтайтын тағы бір анықтама. Жартылай өткізгіш ортада, коррозиялық газдар, реактивті химиялық заттар және плазмалық экспозиция жиі кездеседі. Мұндай жағдайларда нашарлаған қолмен жұмыс істемейтін қолдар тек механикалық сәтсіздікке ұшырап қана қоймайды, сонымен қатар вафлидің ластануы да.Кремний карбидіОсы агрессивті жағдайларға төтеп беретін химиялық инертті бетті қамтамасыз етеді. Нәтиже - бұл беттік тұтастықты және тазалықты сақтайтын, золдельдерді сақтайтын, вафлиді құрастырудан қорғауға болатын қоспалардан сақтайтын жоғары сенімді компонент. Бұл беріктік жабдықты жұмысты азайтады, алмастыратын жиілікті төмендетеді және технологиялық консистенцияны жақсартады.

Оның икемділігінің арғысынан тыс, SIC ARM сонымен қатар технологиялық дәлдіктің жоғары деңгейіне сай келеді. Вафферді өңдеу микрометр үшін дәлдікті қажет етеді; Тағы бір сәл босатылған төзімділік геометриядағы немесе бетінің қабатындағы өзгерістерді тудыруы мүмкін, бұл вафлидің бұзылуындағы немесе вафлидің вафли-қателіктеріне әкелуі мүмкін. Заманауи өндірістік технологияларды қолдана отырып, SIC қарулары тиісті төзімділік, тегістігі және тегіс беттерімен шығарылады. Жоғары дәлдікке ие болған қосымшалар болу, вафлидің дәйекті позициясын және мыңдаған өңдеу циклдері кезінде қайталанатын көрсеткіштер мен ерліктің жоғары көлемді өндірісіне өте қолайлы, бұл талап етілетін деңгейге ие.

Әдеттегіділер - бұл SIC қаруының тағы бір артықшылығы. Әр түрлі жартылай өткізгіш құралдары мен процестері әртүрлі геометриялар, өлшемдер мен дизайнды қажет етеді. СИК қару-жарағын модификациялауға мүмкіндік берілуі мүмкін болғандықтан, олар осы нақты дизайн сипаттамаларын қосуға болады, олар эпитаксикалық құрал, иондық имплантация жабдығы немесе термиялық өңдеу реакторы болуы мүмкін. Беттің қабығын, құрылымдық дизайн мен әрлеуді белгілі бір өтінімге қатысты ең жақсы нәтиже беру үшін өзгертуге және инженерлік етуге болады.

Сондай-ақ, SIC қаруы да операциялық тиімділігі бар. SIC-тің жоғары беріктігі мен сенімділігі дегеніміз - алмастырғыштар сирек кездеседі және тоқтап қалады; Екеуі де ұзақ мерзімді техникалық қызмет көрсету шығындарын білдіреді. Жартылай өткізгіш FABS өндірісі үшін бұл өткізу қабілеттілігін, өндірістегі тұрақтылық пен жоғары өнімділіктің ықтимал өнімділігін арттыруды білдіреді.

СИК қару-жарақтары жартылай өткізгіш қауымдастығында арнайы пайдаланылғаннан бері кеңінен қолданылды, өйткені олардың вафлиді трансферлік жүйелерінде, олар механикалық кернеуге және өте қатаң қайта өңдеу жағдайларына төтеп беруі керек. Вафлиді эпитакси реакторларына жылжытып, ион имплантациясы кезінде және оларды газ немесе жылу өңдеу орталары арқылы тасымалдаңыз, SIC ARM қауіпсіз, дәл және ластануды қамтамасыз етеді. Сенімділік қазіргі заманғы жартылай өткізгіш жабдық портфеліне SIC қаруын енгізу арқылы айқын көрінеді.

Subicorex SIC ARM - бұл жетілдірілген қасиеттердің сәтті үйлесіміКремний карбиді материалы, дәл инженерия және жоғары температуралық тұрақтылық. Химиялық тұрақтылықтың үйлесімі, өңделмеген және дәл пісетін өндіріс мүмкіндігі SIC A қолды ең қысқа жартылай өткізгіш процестерде сенімді вафлиді қамтамасыз ету үшін қолайлы етеді. SIC ARM вафлиді қолдануға және қолдануға болатын түпкілікті тұтынушылық пайдасы үшін берік және берік болып табылады және ұзақ мерзімді операциялық көрсеткіштерде тиімділікке, кірістілік пен процесстің тұрақтылығына байланысты артықшылықтарды ұсынады. Заманауи және кесілген вафли жүйелерін іздейтін өндірушілер немесе қораптың вафлиді шешімдері, тіпті SIC A қолына, жоғары деңгейдегі және қабілетті және қабілетті вафли, Жартылай өткізгіш өнеркәсіптің жоғары сұраныстары үшін берілетін және қабілетті қамтамасыз ету жүйесі.