SiC диффузиялық пеш түтігі

Semicorex SiC диффузиялық пеш түтігінің жоғары иілу беріктігін, тамаша тотығуға және коррозияға төзімділігін, жоғары тозуға төзімділігін, төмен үйкеліс коэффициентін, жоғары температурадағы механикалық қасиеттерін және ультра жоғары тазалығын қоса, жетілдірілген материал қасиеттері оны жартылай өткізгіш өнеркәсібінде таптырмас етеді. , әсіресе диффузиялық пештерді қолдану үшін. Semicorex компаниясында біз сапаны үнемділікпен біріктіретін өнімділігі жоғары SiC диффузиялық пеш түтігін өндіруге және жеткізуге бағытталған.**

Сұрау жіберу

Өнім Сипаттамасы

Жоғары иілу беріктігі: Semicorex SiC диффузиялық пеш түтігі жартылай өткізгіштерді өндіру процестеріне тән жоғары кернеу жағдайында ерекше механикалық өнімділік пен құрылымдық тұтастықты қамтамасыз ететін 200МПа асатын иілу беріктігіне ие.

Керемет тотығуға төзімділік: бұл SiC диффузиялық пеш түтіктері барлық тотықсыз керамикалардың ішіндегі ең жақсысы тотығуға төзімділігі жоғары. Бұл сипаттама жоғары температура орталарында ұзақ мерзімді тұрақтылық пен өнімділікті қамтамасыз етеді, тозу қаупін азайтады және түтіктердің пайдалану мерзімін ұзартады.

Тамаша коррозияға төзімділік: SiC диффузиялық пеш түтігінің химиялық инерттілігі коррозияға тамаша төзімділікпен қамтамасыз етеді, бұл түтіктерді жартылай өткізгіштерді өңдеуде жиі кездесетін қатал химиялық орталарда пайдалану үшін өте қолайлы етеді.

Тозуға төзімділігі жоғары: SiC диффузиялық пеш түтігі тозуға өте төзімді, бұл абразивтік жағдайларда ұзақ уақыт пайдалану кезінде өлшемдік тұрақтылықты сақтау және техникалық қызмет көрсету талаптарын азайту үшін өте маңызды.

Төмен үйкеліс коэффициенті: SiC диффузиялық пеш түтігінің төмен үйкеліс коэффициенті түтіктер мен пластиналардағы тозуды азайтады, біркелкі жұмысты қамтамасыз етеді және жартылай өткізгішті өңдеу кезінде ластану қаупін азайтады.

Жоғары температурадағы жоғары механикалық қасиеттер: SiC диффузиялық пеш түтігі көрнекті беріктік пен сусымалы төзімділікті қоса, белгілі керамикалық материалдардың арасында ең жақсы жоғары температуралық механикалық қасиеттерді көрсетеді. Бұл оны жоғары температурада ұзақ мерзімді тұрақтылықты қажет ететін қолданбалар үшін әсіресе қолайлы етеді.

CVD жабыны бар: Semicorex химиялық бу тұндыру (CVD) SiC жабыны 99,9995% жоғары тазалық деңгейіне жетеді, қоспаның мөлшері 5 ppm төмен және зиянды металл қоспалары 1 ppm төмен. CVD жабу процесі түтіктердің жоғары дәлдіктегі жартылай өткізгіштерді өндіру орталары үшін маңызды 2-3Torr қатаң вакуумды өткізбеушілік талаптарына сай болуын қамтамасыз етеді.

Диффузиялық пештерде қолдану: бұл SiC диффузиялық пеш түтіктері диффузиялық пештерде пайдалану үшін арнайы әзірленген, мұнда олар қоспалау және тотығу сияқты жоғары температуралық процестерде маңызды рөл атқарады. Олардың жетілдірілген материал қасиеттері олардың осы процестердің қиын жағдайларына төтеп беруін қамтамасыз етеді, осылайша жартылай өткізгіш өндірісінің тиімділігі мен сенімділігін арттырады.