SiC жабу жылытқышы

Semicorex SiC жабын жылытқышының артықшылықтары

1. Реактивті ортадан сенімді қорғаныс

Semicorex SiC жабын жылытқышының CVD SiC жабыны MOCVD және EPI процестерінде кездесетін реактивті және коррозиялық орталардан сенімді қорғанысты қамтамасыз етуге арналған. Жоғары тығыздықты SiC жабыны қыздырғыш элементті зақымданудан сақтай отырып, күшті тосқауыл ретінде әрекет етеді. Бұл қорғаныс тұрақты және сенімді өнімділікті қамтамасыз етеді, тоқтау уақытын және техникалық қызмет көрсету шығындарын азайтады.

2. Жақсартылған термиялық тұрақтылық пен тиімділік

SiC жабынының ерекше термиялық қасиеттері біздің жылытқыштарымыздың термиялық тұрақтылығы мен тиімділігін арттыруға ықпал етеді. Қаптаманың жоғары температураға тозбай төтеп беру қабілеті SiC жабу қыздырғышының ұзақ уақыт бойы өнімділігін сақтауды қамтамасыз етеді. Бұл термиялық тұрақтылық жартылай өткізгіш процестерде температураны дәл бақылауға қол жеткізу үшін өте маңызды, бұл құрылғының сапасы мен өнімділігін арттыруға әкеледі.

3. Жоғары тазалық және төмен ластану

Біздің SiC жабынымыздың өте жоғары тазалығы жартылай өткізгішті өндіру процесінде аз ластануды қамтамасыз етеді. 5 ppm-ден аз қоспалармен біздің жабынымыз жартылай өткізгіш құрылғылардың өнімділігі мен сенімділігіне әсер ететін ластаушы заттарды енгізбейді. Бұл жоғары тазалық жартылай өткізгішті өндіруде талап етілетін қатаң стандарттарды сақтау үшін өте маңызды.

4. Оңтайлы өнімділік үшін теңшеу мүмкіндігі

Әртүрлі беттің кедір-бұдыры мен жабын қалыңдығын қамтамасыз ету үшін SiC жабу процесін бейімдеу қабілетіміз арнайы қолданбалар үшін жылытқыштарымыздың өнімділігін оңтайландыруға мүмкіндік береді. Бұл теңшеу әрбір SiC жабын жылытқышының өндірістік процестің жалпы тиімділігі мен сенімділігін арттыра отырып, оның мақсатына толық сәйкес келуін қамтамасыз етеді.

5. Төзімділік және ұзақ мерзімділік

Semicorex SiC жабу қыздырғышының CVD SiC жабынының тамаша адгезиясы мен беріктігі оның ұзақ уақыт бойы, тіпті төтенше жағдайларда да тиімді болып қалуын қамтамасыз етеді. Бұл ұзақ мерзімділік жиі ауыстыру және техникалық қызмет көрсету қажеттілігін азайтады, бұл операциялық шығындарды төмендетуге және өнімділікті арттыруға әкеледі. Қаптаманың крекингке төзімділігі тұрақты қорғаныс пен өнімділікті қамтамасыз ете отырып, оның қызмет ету мерзімін одан әрі арттырады.

Жартылай өткізгіштер өндірісіндегі қолданбалар

Semicorex SiC жабын жылытқышы жартылай өткізгіш өнеркәсібіндегі әртүрлі жоғары температуралық процестерде қажет. Бұл жылытқыштар әсіресе мыналар үшін өте маңызды:

MOCVD процестері: Металл-органикалық химиялық буларды тұндыру құрама жартылай өткізгіштерді өндірудегі негізгі процесс болып табылады. Мұндай орталарда Semicorex SiC жабын жылытқышының CVD SiC жабыны жылытқышты тұрақты және сенімді тұндыруды қамтамасыз етіп, берік қорғауды қамтамасыз етеді.

EPI процестері: эпитаксиалды өсу процестері температураны дәл бақылауды және реактивті газдардан қорғауды қажет етеді. Біздің SiC жабынымыз қыздыру элементтерінің тұтастығы мен өнімділігін сақтай отырып, осы жағдайларда өте жақсы.