MOCVD жылытқышы

Бұл жылытқыш жоғары тазалықтағы графитпен жасалған, қоспа деңгейлері мұқият бақыланатын миллионға 5 бөліктен (ppm) аз. Содан кейін графит 99,99995%-дан асатын тазалық деңгейімен мақтана отырып, химиялық бу тұндыру (CVD) кремний карбидімен (SiC) қапталған. Материалдардың бұл комбинациясы қыздырғышқа металл-органикалық химиялық буларды тұндыру (MOCVD) процестерінде оңтайлы өнімділікке қол жеткізу үшін қажет бірегей қасиеттер жиынтығын береді.

Semicorex MOCVD жылытқышының ең керемет ерекшеліктерінің бірі оның ерекше химиялық тазалығы болып табылады. Жоғары тазалықтағы графит өзегі ультра таза жұқа қабықшалардың тұндырылуын қамтамасыз ете отырып, жоғары температуралық процестер кезінде ластаушы заттардың түсуін айтарлықтай азайтады. CVD SiC жабыны осы тазалықты одан әрі жақсартады, бұл тұндырылған қабаттардың тұтастығын бұзуы мүмкін химиялық әрекеттесулерге қарсы берік тосқауыл береді. Химиялық тазалықтың бұл жоғары деңгейі өнімділігі мен сенімділігі жоғары жартылай өткізгіш құрылғыларды шығару үшін өте маңызды.

Сонымен қатар, жылытқыш жоғары берік және жылу тиімді, MOCVD процестеріне тән төтенше термиялық жағдайларға төтеп бере алады. SiC-тің жоғары балқу температурасы және жылу өткізгіштігі сияқты тән қасиеттері қыздырғыштың жылуды тиімді басқару және тарату қабілетіне ықпал етеді. Бұл термиялық тиімділік субстрат бойынша біркелкі қыздыруды қамтамасыз етеді, бұл біртекті пленка тұнбасына қол жеткізу және ақауларға әкелуі мүмкін жылу градиенттерін азайту үшін өте маңызды.

Электр өткізгіштік - Semicorex MOCVD жылытқышы жақсы болатын тағы бір сала. Жоғары таза графит өзегі тамаша электр өткізгіштігін қамтамасыз етеді, бұл қыздырғышқа жоғары электр жүктемелерін оңай өңдеуге мүмкіндік береді. Бұл мүмкіндік температура мен тұндыру жылдамдығын дәл бақылауды қажет ететін MOCVD процестерінде өте маңызды. Қыздырғыштың жоғары жүктемелер кезінде тұрақты электр өнімділігін сақтау қабілеті жоғары өнімді жартылай өткізгіштерді өндіру үшін маңызды болып табылатын дәйекті және қайталанатын технологиялық жағдайларды қамтамасыз етеді.

Қыздырғыштың тегіс беті радиациялық жылу беру тиімділігін арттыра отырып, субстратқа жоғары сәуле шығаруды қамтамасыз ету үшін мұқият жасалған. Бұл дизайн мүмкіндігі субстраттың біркелкі жылынуын қамтамасыз етеді, бұл тұрақты қалыңдығы мен қасиеттері бар жоғары сапалы жұқа пленкаларға қол жеткізу үшін өте маңызды. Жоғары эмиссиялық бет сонымен қатар қыздырғыштың жалпы жылу тиімділігіне ықпал етеді, энергияны тұтынуды және пайдалану шығындарын азайтады.

Төзімділік тұрғысынан Semicorex MOCVD жылытқышы ерекше коррозияға төзімділік, тотығуға төзімділік және жоғары механикалық беріктік ұсынады. CVD SiC жабыны MOCVD процестерінде жиі кездесетін коррозиялық газдар мен химиялық заттарға қарсы тұратын берік қорғаныс қабатын қамтамасыз етеді. Бұл коррозияға төзімділік жылытқыштың қызмет ету мерзімін ұзартады, техникалық қызмет көрсету және ауыстыру шығындарын азайтады. Қыздырғыштың тотығуға болмайтындығы оның тұрақтылығын және тіпті жоғары температурада да бұзылмауын қамтамасыз етеді, ұзақ жұмыс уақытында оның өнімділігі мен құрылымдық тұтастығын сақтайды.

Ақырында, қыздырғыштың жоғары механикалық беріктігі оның термиялық циклмен және субстратпен өңдеумен байланысты физикалық кернеулерге төтеп бере алатынын қамтамасыз етеді. Бұл беріктік механикалық бұзылу қаупін азайтып, сенімді және үздіксіз жұмысты қамтамасыз етеді.