SiC-жабылған LPE кристалды өсу сенсоры

Жоғары балқу температурасымен, тотығуға төзімділігімен және коррозияға төзімділігімен Semicorex SiC-жабылған LPE Crystal Growth Susceptor монокристалды өсу қолданбаларында пайдалану үшін тамаша таңдау болып табылады. Оның кремний карбидті жабыны тамаша тегістік пен жылу тарату қасиеттерін қамтамасыз етеді, бұл оны жоғары температуралы орталар үшін тамаша таңдау жасайды.

Сұрау жіберу

Өнім Сипаттамасы

Semicorex SiC қапталған LPE Crystal Growth Susceptor ерекше жылу өткізгіштігі мен жылуды тарату қасиеттерінің арқасында жартылай өткізгіш пластиналардағы эпиксиалды қабаттың қалыптасуы үшін тамаша таңдау болып табылады. Оның жоғары таза SiC жабыны тіпті ең талап етілетін жоғары температура мен коррозиялық орталарда жоғары қорғанысты қамтамасыз етеді.

Біздің SiC қапталған LPE Crystal Growth Susceptor жылу профилінің біркелкілігін қамтамасыз ететін ламинарлы газ ағынының ең жақсы үлгісіне қол жеткізуге арналған. Бұл вафли чипіндегі жоғары сапалы эпитаксиалды өсуді қамтамасыз ете отырып, кез келген ластануды немесе қоспалардың диффузиясын болдырмауға көмектеседі.

SiC қапталған LPE кристалды өсу сусцепторы туралы көбірек білу үшін бүгін бізге хабарласыңыз.

SiC-жабылған LPE Crystal Growth Susceptor параметрлері

CVD-SIC жабынының негізгі сипаттамалары
SiC-CVD қасиеттері
Кристалл құрылымы	FCC Î² фазасы
Тығыздығы	г/см³	3.21
Қаттылық	Викерс қаттылығы	2500
Астық мөлшері	Î¼м	2~10
Химиялық тазалық	%	99.99995
Жылу сыйымдылығы	Дж·кг-1 ·К-1	640
Сублимация температурасы	℃	2700
Жіңішке күш	МПа (RT 4-нүкте)	415
Young's модулі	Gpa (4pt иілісі, 1300â)	430
Термиялық кеңею (C.T.E)	10-6К-1	4.5
Жылу өткізгіштік	(Вт/мК)	300

SiC-жабылған LPE кристалды өсу сусцепторының ерекшеліктері

- Графиттік негіз де, кремний карбиді қабаты да жақсы тығыздыққа ие және жоғары температура мен коррозиялық жұмыс орталарында жақсы қорғаныс рөлін атқара алады.

- Монокристалды өсіру үшін қолданылатын кремний карбидімен қапталған сенсордың бетінің тегістігі өте жоғары.

- Графиттік субстрат пен кремний карбиді қабаты арасындағы термиялық кеңею коэффициентіндегі айырмашылықты азайтыңыз, крекинг пен қабаттасуды болдырмау үшін байланыстыру беріктігін тиімді жақсартыңыз.

- Графиттік негіз де, кремний карбиді қабаты да жоғары жылу өткізгіштікке және тамаша жылу тарату қасиеттеріне ие.

- Жоғары балқу температурасы, жоғары температурадағы тотығуға төзімділігі, коррозияға төзімділігі.