Егер сіз жартылай өткізгіштерді өндіру қолданбаларында пайдалану үшін жоғары өнімді графит қабылдағышты іздесеңіз, Semicorex SiC қапталған графит баррельді қабылдағыш тамаша таңдау болып табылады. Оның ерекше жылу өткізгіштігі мен жылу тарату қасиеттері оны жоғары температура мен коррозиялық ортада сенімді және дәйекті өнімділік үшін таңдаулы таңдауға айналдырады.
Semicorex SiC қапталған графит баррельді қабылдағыш ерекше жылуды бөлуді және жылу өткізгіштігін қажет ететін жартылай өткізгіштерді өндіру қолданбалары үшін тамаша таңдау болып табылады. Оның жоғары таза SiC жабыны және жоғары тығыздығы ең қиын орталарда да сенімді және дәйекті өнімділікті қамтамасыз ете отырып, жоғары қорғаныс және жылу тарату қасиеттерін қамтамасыз етеді.
Біздің SiC жабынымен қапталған графит баррельді қабылдағышымыз жылу профилінің біркелкілігін қамтамасыз ететін ламинарлы газ ағынының ең жақсы үлгісіне қол жеткізуге арналған. Бұл вафли чипіндегі жоғары сапалы эпитаксиалды өсуді қамтамасыз ете отырып, кез келген ластануды немесе қоспалардың диффузиясын болдырмауға көмектеседі.
Біздің SiC қапталған графит баррельді сусцептор туралы көбірек білу үшін бүгін бізге хабарласыңыз.
SiC қапталған графит баррельді қабылдағыштың параметрлері
CVD-SIC жабынының негізгі сипаттамалары |
||
SiC-CVD қасиеттері |
||
Кристалл құрылымы |
FCC β фазасы |
|
Тығыздығы |
г/см³ |
3.21 |
Қаттылық |
Викерс қаттылығы |
2500 |
Астық мөлшері |
мкм |
2~10 |
Химиялық тазалық |
% |
99.99995 |
Жылу сыйымдылығы |
Дж кг-1 К-1 |
640 |
Сублимация температурасы |
℃ |
2700 |
Жіңішке күш |
МПа (RT 4-нүкте) |
415 |
Жас модулі |
Gpa (4pt иілу, 1300℃) |
430 |
Термиялық кеңею (C.T.E) |
10-6К-1 |
4.5 |
Жылу өткізгіштік |
(Вт/мК) |
300 |
SiC қапталған графитті бөшкелік сусцептордың ерекшеліктері
- Графит субстраты да, кремний карбиді қабаты да жақсы тығыздыққа ие және жоғары температура мен коррозиялық жұмыс орталарында жақсы қорғаныс рөлін атқара алады.
- Монокристалды өсіру үшін қолданылатын кремний карбидімен қапталған сенсордың бетінің тегістігі өте жоғары.
- Графит субстраты мен кремний карбиді қабаты арасындағы термиялық кеңею коэффициентіндегі айырмашылықты азайтыңыз, крекинг пен қабаттасуды болдырмау үшін байланыс беріктігін тиімді жақсартыңыз.
- Графиттік негіз де, кремний карбиді қабаты да жоғары жылу өткізгіштікке және тамаша жылу тарату қасиеттеріне ие.
- Жоғары балқу температурасы, жоғары температурадағы тотығуға төзімділігі, коррозияға төзімділігі.