SiC қапталған газды бұру дискілері

Жетілдірілген жартылай өткізгішті материалдар мен озық өндіріс технологияларының тамаша үлгісі бола отырып, SemicorexSiC қапталғангазды бұру дискілері химиялық буларды тұндыру арқылы тығыз SiC жабыны бар матрицалары ретінде жоғары таза графиттен дәл жасалған. Газды бұру дискілері, негізінен, өңдеу кезінде толық реакцияларды қамтамасыз ету үшін реакциялық газды пластинаның беті бойынша біркелкі таратуға арналған, осылайша дәйекті және біркелкі монокристалды жұқа қабықшалардың түзілуін жеңілдетеді.

Semicorex SiC қапталған газды бұру дискілерінің артықшылықтары

1. Материалдың жоғары тазалығы

Semicorex материалды мұқият таңдаудан бастап қатаң өнім сапасы стандарттарын қолдайды. Шикізаттың тазалығын қатаң бақылаудың арқасында Semicorex SiC жабыны бар газды бұру дискілері қоспаның аз мөлшерін береді және тамаша тазалығымен мақтана алады. Бұл металл иондарының және басқа ластаушы заттардың жартылай өткізгіш эпитаксиалды процестерді бұзуына айтарлықтай кедергі жасай алады.

2. Жоғары термиялық тұрақтылық

Бұл жүйелерде қолданылатын компоненттер ерекше термиялық тұрақтылыққа ие болуы керек, өйткені жартылай өткізгішті эпитаксиалды жабдық әдетте 1400 ° C жоғары температурада жұмыс істейді. Бұл ерекше термиялық тұрақтылық Semicorex SiC қапталған газды бұру дискілерінің күрделі жоғары температуралық жұмыс жағдайларына төтеп беруін қамтамасыз етеді және жұмыс кезінде жоғары температура әсерінен болатын қоспалардың бөлінуін тиімді болдырмайды, бұл эпитаксиалды пластинаның сапасы мен шығымдылығына кепілдік береді.

3.Тамаша жоғары температура коррозияға төзімділігі

Қорғалмаған графит матрицалары коррозияға және бөлшектердің пайда болуына бейім, сондықтан газды бұру дискілері коррозияға төзімділігін арттыру үшін әдетте кремний карбиді жабынымен өңделеді. Тығыз SiC жабынымен қапталған,  Semicorex SiC қапталған газды бұру дискілері тамаша тотығуға және химиялық коррозияға төзімділікті ұсынады, бұл олардың қиын жоғары температура мен коррозиялық жұмыс жағдайларында да ұзақ қызмет ету мерзімінде тұрақты жұмыс істеуіне мүмкіндік береді.

4.Икемді теңшеу мүмкіндіктері

Semicorex тәжірибелі өңдеу мүмкіндіктерін ұсынатын CNC өңдеу жабдығы, беттік тегістеу станоктары және ультрадыбыстық бұрғылау жабдығы сияқты бірнеше жетілдірілген өңдеу жабдықтарымен жабдықталған. Semicorex тұтынушылардың сызбаларына сәйкес икемді теңшеу қызметтерін ұсына алады және тұтынушылардың эпитаксиалды жабдығымен үздіксіз үйлесімділікті қамтамасыз ету үшін SiC жабыны бар газды бұру дискілерінің өлшемдерін, төзімділіктерін, бетінің тегістігін, саңылаулардың диаметрін және саңылаулардың аралықтарын бейімдей алады.