Semicorex SiC қапталған эпитаксиалды реактор баррелі - жоғары таза SiC қапталған жоғары сапалы графит өнімі. Оның тамаша тығыздығы мен жылу өткізгіштігі оны коррозиялық және жоғары температуралы орталарда ерекше жылу таратуды және қорғауды қамтамасыз ететін LPE процестерінде пайдалану үшін тамаша таңдау жасайды.
Жартылай өткізгішті өндіруге келетін болсақ, Semicorex SiC қапталған эпитаксиалды реактор баррелі жоғары өнімділік пен ерекше жылуды бөлу үшін таңдаулы таңдау болып табылады. Тазалығы жоғары SiC-пен қапталған бұл графит өнімі тамаша коррозияға және ыстыққа төзімділікті қамтамасыз етіп, әр уақытта сенімді және дәйекті нәтижелерді қамтамасыз етеді.
Semicorex-те біз өз тұтынушыларымызға жоғары сапалы, үнемді өнімдерді ұсынуға назар аударамыз. Біздің SiC қапталған эпитаксиалды реактор баррелінің бағалық артықшылығы бар және көптеген еуропалық және американдық нарықтарға экспортталады. Біз тұрақты сапалы өнімдер мен ерекше тұтынушыларға қызмет көрсететін ұзақ мерзімді серіктес болуды мақсат етеміз.
SiC қапталған эпитаксиалды реактор бөшкесінің параметрлері
CVD-SIC жабынының негізгі сипаттамалары |
||
SiC-CVD қасиеттері |
||
Кристалл құрылымы |
FCC β фазасы |
|
Тығыздығы |
г/см³ |
3.21 |
Қаттылық |
Викерс қаттылығы |
2500 |
Астық мөлшері |
μм |
2~10 |
Химиялық тазалық |
% |
99.99995 |
Жылу сыйымдылығы |
Дж·кг-1 ·К-1 |
640 |
Сублимация температурасы |
℃ |
2700 |
Жіңішке күш |
МПа (RT 4-нүкте) |
415 |
Young's модулі |
Gpa (4pt иілісі, 1300â) |
430 |
Термиялық кеңею (C.T.E) |
10-6К-1 |
4.5 |
Жылу өткізгіштік |
(Вт/мК) |
300 |
SiC қапталған эпитаксиалды реактор бөшкесінің ерекшеліктері
- Графиттік негіз де, кремний карбиді қабаты да жақсы тығыздыққа ие және жоғары температура мен коррозиялық жұмыс орталарында жақсы қорғаныс рөлін атқара алады.
- Монокристалды өсіру үшін қолданылатын кремний карбидімен қапталған сенсордың бетінің тегістігі өте жоғары.
- Графиттік субстрат пен кремний карбиді қабаты арасындағы термиялық кеңею коэффициентіндегі айырмашылықты азайтыңыз, крекинг пен қабаттасуды болдырмау үшін байланыстыру беріктігін тиімді жақсартыңыз.
- Графиттік негіз де, кремний карбиді қабаты да жоғары жылу өткізгіштікке және тамаша жылу тарату қасиеттеріне ие.
- Жоғары балқу температурасы, жоғары температурадағы тотығуға төзімділігі, коррозияға төзімділігі.