Вафельді эпитаксиалға арналған Semicorex SiC қапталған бөшкелік сусцептор - оның ерекше тегіс беті мен жоғары сапалы SiC жабынының арқасында монокристалды өсіру қолданбалары үшін тамаша таңдау. Оның жоғары балқу температурасы, тотығуға төзімділігі және коррозияға төзімділігі оны жоғары температурада және коррозиялық ортада пайдалану үшін тамаша таңдау жасайды.
Ерекше жылуды бөлу және жылу өткізгіштігі бар графит сенсорын іздеп жүрсіз бе? Вафельді эпитаксиалды Semicorex SiC қапталған бөшкеден басқаны іздеңіз, ол эпитаксиалды процестерде және жартылай өткізгіштерді өндірудің басқа қолданбаларында жоғары өнімділік үшін жоғары таза SiC қапталған.
Semicorex-те біз тұтынушыларға жоғары сапалы, үнемді өнімдерді ұсынуға назар аударамыз. Вафельді эпитаксиалға арналған SiC қапталған бөшкелік сусептор бағаның артықшылығына ие және көптеген еуропалық және американдық нарықтарға экспортталады. Біз тұрақты сапалы өнімдер мен ерекше тұтынушыларға қызмет көрсететін ұзақ мерзімді серіктес болуды мақсат етеміз.
Вафельді эпитаксиалға арналған SiC қапталған бөшкелік сусцептордың параметрлері
CVD-SIC жабынының негізгі сипаттамалары |
||
SiC-CVD қасиеттері |
||
Кристалл құрылымы |
FCC β фазасы |
|
Тығыздығы |
г/см³ |
3.21 |
Қаттылық |
Викерс қаттылығы |
2500 |
Астық мөлшері |
мкм |
2~10 |
Химиялық тазалық |
% |
99.99995 |
Жылу сыйымдылығы |
Дж кг-1 К-1 |
640 |
Сублимация температурасы |
℃ |
2700 |
Фелексальды күш |
МПа (RT 4-нүкте) |
415 |
Жас модулі |
Gpa (4pt иілу, 1300℃) |
430 |
Термиялық кеңею (C.T.E) |
10-6К-1 |
4.5 |
Жылу өткізгіштік |
(Вт/мК) |
300 |
Вафельді эпитаксиалды SiC жабынымен қапталған бөшкелік сусцептордың ерекшеліктері
- Графит субстраты да, кремний карбиді қабаты да жақсы тығыздыққа ие және жоғары температура мен коррозиялық жұмыс орталарында жақсы қорғаныс рөлін атқара алады.
- Монокристалды өсіру үшін қолданылатын кремний карбидімен қапталған сенсордың бетінің тегістігі өте жоғары.
- Графит субстраты мен кремний карбиді қабаты арасындағы термиялық кеңею коэффициентіндегі айырмашылықты азайтыңыз, крекинг пен қабаттасуды болдырмау үшін байланыс беріктігін тиімді жақсартыңыз.
- Графиттік негіз де, кремний карбиді қабаты да жоғары жылу өткізгіштікке және тамаша жылу тарату қасиеттеріне ие.
- Жоғары балқу температурасы, жоғары температурадағы тотығуға төзімділігі, коррозияға төзімділігі.