Жоғары балқу температурасымен, тотығуға төзімділігімен және коррозияға төзімділігімен Semicorex SiC-қапталған бөшкелік сусептор монокристалды өсіретін қолданбаларда пайдалану үшін тамаша таңдау болып табылады. Оның кремний карбидті жабыны ерекше тегістік пен жылу тарату қасиеттерін қамтамасыз етеді, тіпті ең талап етілетін жоғары температура орталарында сенімді және дәйекті өнімділікті қамтамасыз етеді.
Semicorex SiC-қапталған бөшкелік сусептор - бұл LPE процестеріне және жартылай өткізгіштерді өндірудің басқа қолданбаларына арнайы әзірленген, жоғары таза SiC қапталған жоғары сапалы графит өнімі. Оның ерекше тығыздығы мен жылу өткізгіштігі жоғары температура мен коррозиялық ортада жоғары жылуды бөлуді және қорғауды қамтамасыз етеді.
Semicorex-те біз жоғары сапалы, үнемді SiC-жабынмен қапталған бөшкелік сусцепторды қамтамасыз етуге назар аударамыз, біз тұтынушылардың қанағаттануын бірінші орынға қоямыз және үнемді шешімдерді ұсынамыз. Біз жоғары сапалы өнімдер мен ерекше тұтынушыларға қызмет көрсететін ұзақ мерзімді серіктес болуды асыға күтеміз.
SiC-жабынды баррельді қабылдағыштың параметрлері
CVD-SIC жабынының негізгі сипаттамалары |
||
SiC-CVD қасиеттері |
||
Кристалл құрылымы |
FCC β фазасы |
|
Тығыздығы |
г/см³ |
3.21 |
Қаттылық |
Викерс қаттылығы |
2500 |
Астық мөлшері |
мкм |
2~10 |
Химиялық тазалық |
% |
99.99995 |
Жылу сыйымдылығы |
Дж кг-1 К-1 |
640 |
Сублимация температурасы |
℃ |
2700 |
Жіңішке күш |
МПа (RT 4-нүкте) |
415 |
Жас модулі |
Gpa (4pt иілу, 1300℃) |
430 |
Термиялық кеңею (C.T.E) |
10-6К-1 |
4.5 |
Жылу өткізгіштік |
(Вт/мК) |
300 |
SiC-қапталған бөшкелік сусцептордың ерекшеліктері
- Графит субстраты да, кремний карбиді қабаты да жақсы тығыздыққа ие және жоғары температура мен коррозиялық жұмыс орталарында жақсы қорғаныс рөлін атқара алады.
- Монокристалды өсіру үшін қолданылатын кремний карбидімен қапталған сенсордың бетінің тегістігі өте жоғары.
- Графит субстраты мен кремний карбиді қабаты арасындағы термиялық кеңею коэффициентіндегі айырмашылықты азайтыңыз, крекинг пен қабаттасуды болдырмау үшін байланыс беріктігін тиімді жақсартыңыз.
- Графиттік негіз де, кремний карбиді қабаты да жоғары жылу өткізгіштікке және тамаша жылу тарату қасиеттеріне ие.
- Жоғары балқу температурасы, жоғары температурадағы тотығуға төзімділігі, коррозияға төзімділігі.