LPE өсуіне арналған SiC-жабылған бөшкеге арналған сенсор

Жоғары балқу температурасымен, тотығуға төзімділігімен және коррозияға төзімділігімен, LPE өсуіне арналған Semicorex SiC-қапталған бөшкелік сусцептор монокристалды өсіру қолданбаларында пайдалану үшін тамаша таңдау болып табылады. Оның кремний карбидті жабыны ерекше тегістік пен жылу тарату қасиеттерін қамтамасыз етеді, тіпті ең талап етілетін жоғары температуралы орталарда сенімді және дәйекті өнімділікті қамтамасыз етеді.

Сұрау жіберу

Өнім Сипаттамасы

LPE өсуіне арналған Semicorex SiC қапталған бөшкелік сусептор - LPE процестеріне және жартылай өткізгіштерді өндірудің басқа қолданбаларына арнайы әзірленген, жоғары таза SiC-пен қапталған жоғары сапалы графит өнімі. Оның ерекше тығыздығы мен жылу өткізгіштігі жоғары температура мен коррозиялық ортада жоғары жылуды бөлуді және қорғауды қамтамасыз етеді.

Semicorex-те біз LPE өсуіне арналған жоғары сапалы, үнемді SiC-қапталған бөшкелерді қамтамасыз етуге назар аударамыз, біз тұтынушылардың қанағаттануын бірінші орынға қоямыз және үнемді шешімдерді ұсынамыз. Біз жоғары сапалы өнімдер мен ерекше тұтынушыларға қызмет көрсететін ұзақ мерзімді серіктес болуды асыға күтеміз.

LPE өсуіне арналған SiC-жабылған бөшкелік сусцептордың параметрлері

CVD-SIC жабынының негізгі сипаттамалары
SiC-CVD қасиеттері
Кристалл құрылымы	FCC Î² фазасы
Тығыздығы	г/см³	3.21
Қаттылық	Викерс қаттылығы	2500
Астық мөлшері	Î¼м	2~10
Химиялық тазалық	%	99.99995
Жылу сыйымдылығы	Дж·кг-1 ·К-1	640
Сублимация температурасы	℃	2700
Жіңішке күш	МПа (RT 4-нүкте)	415
Young's модулі	Gpa (4pt иілісі, 1300â)	430
Термиялық кеңею (C.T.E)	10-6К-1	4.5
Жылу өткізгіштік	(Вт/мК)	300

LPE өсуіне арналған SiC-қапталған бөшкелік сусцептордың ерекшеліктері

- Графиттік негіз де, кремний карбиді қабаты да жақсы тығыздыққа ие және жоғары температура мен коррозиялық жұмыс орталарында жақсы қорғаныс рөлін атқара алады.

- Монокристалды өсіру үшін қолданылатын кремний карбидімен қапталған сенсордың бетінің тегістігі өте жоғары.

- Графиттік субстрат пен кремний карбиді қабаты арасындағы термиялық кеңею коэффициентіндегі айырмашылықты азайтыңыз, крекинг пен қабаттасуды болдырмау үшін байланыстыру беріктігін тиімді жақсартыңыз.

- Графиттік негіз де, кремний карбиді қабаты да жоғары жылу өткізгіштікке және тамаша жылу тарату қасиеттеріне ие.

- Жоғары балқу температурасы, жоғары температурадағы тотығуға төзімділігі, коррозияға төзімділігі.