LPE эпитаксиалды өсуге арналған Semicorex SiC қапталған бөшкелік сусептор ұзақ уақыт бойы тұрақты және сенімді өнімділікті қамтамасыз етуге арналған жоғары өнімді өнім болып табылады. Оның біркелкі термиялық профилі, ламинарлы газ ағынының үлгісі және ластануды болдырмау оны вафли чиптеріндегі жоғары сапалы эпитаксиалды қабаттардың өсуі үшін тамаша таңдау жасайды. Оның теңшеу мүмкіндігі мен үнемділігі оны нарықта жоғары бәсекеге қабілетті өнімге айналдырады.
LPE эпитаксиалды өсуге арналған SiC қапталған бөшкелік сусцептор - бұл ақша үшін тамаша құндылықты қамтамасыз ететін жоғары сапалы және сенімді өнім. Оның жоғары температурадағы тотығуға төзімділігі, тіпті термиялық профилі және ластануды болдырмау оны вафли чиптеріндегі жоғары сапалы эпитаксиалды қабаттардың өсуі үшін тамаша таңдау жасайды. Төмен техникалық қызмет көрсету талаптары және теңшеу мүмкіндігі оны нарықта жоғары бәсекеге қабілетті өнімге айналдырады.
LPE эпитаксиалды өсуіне арналған SiC қапталған бөшкелік сусцептор туралы көбірек білу үшін бүгін бізге хабарласыңыз.
LPE эпитаксиалды өсуіне арналған SiC қапталған бөшкелік сусцептордың параметрлері
CVD-SIC жабынының негізгі сипаттамалары |
||
SiC-CVD қасиеттері |
||
Кристалл құрылымы |
FCC β фазасы |
|
Тығыздығы |
г/см³ |
3.21 |
Қаттылық |
Викерс қаттылығы |
2500 |
Астық мөлшері |
мкм |
2~10 |
Химиялық тазалық |
% |
99.99995 |
Жылу сыйымдылығы |
Дж кг-1 К-1 |
640 |
Сублимация температурасы |
℃ |
2700 |
Фелексальды күш |
МПа (RT 4-нүкте) |
415 |
Жас модулі |
Gpa (4pt иілу, 1300℃) |
430 |
Термиялық кеңею (C.T.E) |
10-6К-1 |
4.5 |
Жылу өткізгіштік |
(Вт/мК) |
300 |
LPE эпитаксиалды өсуіне арналған SiC қапталған бөшкелік сусцептордың ерекшеліктері
- Графит субстраты да, кремний карбиді қабаты да жақсы тығыздыққа ие және жоғары температура мен коррозиялық жұмыс орталарында жақсы қорғаныс рөлін атқара алады.
- Монокристалды өсіру үшін қолданылатын кремний карбидімен қапталған сенсордың бетінің тегістігі өте жоғары.
- Графит субстраты мен кремний карбиді қабаты арасындағы термиялық кеңею коэффициентіндегі айырмашылықты азайтыңыз, крекинг пен қабаттасуды болдырмау үшін байланыс беріктігін тиімді жақсартыңыз.
- Графиттік негіз де, кремний карбиді қабаты да жоғары жылу өткізгіштікке және тамаша жылу тарату қасиеттеріне ие.
- Жоғары балқу температурасы, жоғары температурадағы тотығуға төзімділігі, коррозияға төзімділігі.