SiC керамикалық вакуумдық патрон

Олар Мур заңына ұмтылған кезде, жартылай өткізгіштерді шығаратын қондырғыларға ауыр механикалық күштерге төтеп бере алатын және ешбір соққылар мен шөгулерсіз тегіс болып қалатын пластинаны ұстайтын платформалар қажет. Semicorex SiC керамикалық вакуумдық патрон дәстүрлі алюминий тотығы мен тот баспайтын болаттан жасалған патрондарды ауыстыру үшін тамаша шешімді ұсынады; олар қажетті қаттылық пен салмақ қатынасын қамтамасыз етеді және химиялық реакцияға түспейді, олардың екеуі де 300 мм пластиналарды өңдеу үшін өте маңызды және одан да көп.

1. Агломерленген тығыз кремний карбидін (SSiC) қолдану арқылы материалдың артықшылықтары.

Біздің негізгі құрамдасSiC керамикалықВакуумдық патрон агломерацияланғанКремний карбиді, оның өте күшті коваленттік байланысымен анықталған материал. Біздің SSiC кеуекті емес немесе реакцияға байланысты емес; керісінше, дерлік теориялық тығыздыққа (> 3,10 г/см3) жету үшін Цельсий бойынша > 2000 градуста агломерацияланады — қарапайым тілмен айтқанда, ол вакуумдық патрондарды өндіру үшін қолданылатын басқа материалдарға қарағанда қаттырақ.

Ерекше механикалық қаттылық.

SSiC Янг модулі шамамен 420 ГПа құрайды, осылайша оны алюминий тотығынан (шамамен 380 ГПа) қаттырақ етеді. Бұл жоғары серпімділік модулінің арқасында біздің патрондар вакуумда да, жоғары жылдамдықта айналу жағдайында да тұрақты болып қалады және деформацияланбайды; демек, пластиналар «картоп чипі» болмайды (яғни, иілу) және әрқашан олардың бүкіл бетінің ауданы бойынша біркелкі байланыс жасайды.

Термиялық тұрақтылық және төмен CTE

Жоғары қарқынды ультракүлгін сәулесі немесе үйкелістен туындаған жылуды қамтитын процестерде термиялық кеңею қабаттасу қателеріне әкелуі мүмкін. Біздің SiC патрондары жоғары жылуөткізгіштікпен (>120Вт/м·К) қосылатын 4,0 x 10^{-6}/К төмен жылу кеңею коэффициентіне (CTE) ие. Бұл комбинация ұзақ уақытқа созылатын литография немесе метрология циклдері кезінде өлшемдік тұрақтылықты сақтай отырып, патронға жылуды жылдам таратуға мүмкіндік береді.

2. Дәлдік инженерия және дизайн

Өнім суретінде көрініп тұрғандай, біздің вакуумдық патрондар концентрлік және радиалды вакуумдық арналардың күрделі желісін көрсетеді. Олар пластинаның біркелкі сорылуын қамтамасыз ету үшін өте дәлдікпен CNC өңделген, бұл пластинаның сынуына әкелуі мүмкін локализацияланған кернеу нүктелерін азайтады.

Суб-микронды тегістік: біз <1μm жаһандық тегістікке жету үшін гауһар тасты тегістеу және сырлаудың озық әдістерін қолданамыз. Бұл жетілдірілген литография түйіндерінде талап етілетін фокустық тереңдікті сақтау үшін өте маңызды.

Жеңілдеу (міндетті емес): Қадамдар мен сканерлердегі жоғары жеделдету кезеңдерін орналастыру үшін біз құрылымдық қаттылықты бұзбай, массаны азайтатын ішкі ұяшықты «жеңілдететін» құрылымдарды ұсынамыз.

Периметрді туралау ойықтары: Кіріктірілген ойықтар технологиялық құралдағы роботты соңғы эффекторлармен және туралау сенсорларымен үздіксіз интеграцияға мүмкіндік береді.

3. Жартылай өткізгіштерді жеткізу тізбегіндегі маңызды қолданбалар

Біздің SiC керамикалық вакуумдық патрондар мыналар үшін салалық стандарт болып табылады:

Вафельді жұқарту және ұнтақтау (CMP): пластиналарды микрон деңгейіне дейін жіңішкеруге қажетті қатты тірекпен қамтамасыз ету.

Литография (қадамдар/сканерлер): 7 нм-ден төмен түйіндер үшін дәл лазерлік фокустауды қамтамасыз ететін ультра тегіс «саты» ретінде әрекет етеді.

Метрология және AOI: жоғары ажыратымдылықтағы тексеру және ақауларды картаға түсіру үшін пластиналар өте тегіс болуын қамтамасыз ету.

Вафельді кесу: жоғары жылдамдықты механикалық немесе лазерлік кесу операциялары кезінде тұрақты соруды қамтамасыз етеді.

Semicorex-те біз вакуумдық патрон тек оның бетінің тұтастығы сияқты жақсы екенін түсінеміз. Әрбір патрон көп сатылы сапаны бақылау процесінен өтеді:

Лазерлік интерферометрия: бүкіл диаметр бойынша тегістікті тексеру үшін.

Гелийдің ағып кетуіне сынау: вакуумдық арналардың мінсіз жабылғанын және тиімді болуын қамтамасыз ету.

Таза бөлмені тазалау: нөлдік металл немесе органикалық ластануды қамтамасыз ету үшін 100-сынып орталарында өңделеді.

Біздің инженерлік топ ұяшық үлгілерін, өлшемдерін және орнату интерфейстерін теңшеу үшін OEM құрал өндірушілерімен тығыз жұмыс істейді. Semicorex таңдау арқылы сіз тоқтау уақытын азайтатын, қабаттасудың дәлдігін жақсартатын және өте ұзақ мерзімділік арқылы иеленудің жалпы құнын төмендететін құрамдасқа инвестиция жасайсыз.