SiC керамикалық роботты қол

SiC керамикалықробот қолпластинаны дайындаудың сапасы мен тиімділігін қамтамасыз етуде маңызды рөл атқара отырып, бірнеше жартылай өткізгіш пластиналарды өндіру процестерінде қолданылады. Ол әдетте жартылай өткізгіш пластинкаларды өңдеуге және орналастыруға тікелей қатысатын ою машиналары, тұндыру жабдықтары, литография машиналары, тазалау жабдықтары сияқты әртүрлі жартылай өткізгішті алдыңғы құрылғылардың камераларының ішінде және сыртында орнатылады. 

Жартылай өткізгішті пластиналар бөлшектермен оңай ластанады, сондықтан олармен байланысты өндірістік процестер негізінен таза және вакуумды жартылай өткізгіш жабдықтарда жүзеге асырылады. Нақты жұмыс кезінде мұндай жабдықтың маңызды құрамдас бөлігі ретінде SiC керамикалық робот қолы жартылай өткізгіш пластиналармен тікелей байланыста болады және сонымен қатар өте жоғары тазалық талаптарына сай болуы керек. Semicorex компаниясының SiC керамикалық роботтық қолы жоғары өнімді кремний карбид керамикасынан жасалған, содан кейін дәлдікпен бетті әрлеу және тазарту өңделеді, ол тазалық пен беттің тегістігіне арналған жартылай өткізгіш өндірісінің қатаң талаптарына дәл жауап бере алады. Бұл пластинаның ақауларын азайтуға және пластинаның өнімділігін арттыруға айтарлықтай үлес қосады.

SiC керамикалықроботты қол күйдіру, тотығу және диффузия сияқты термиялық өңдеу процедуралары үшін оңтайлы нұсқа болып табылады. Кремний карбидті материалдардың ерекше термиялық тұрақтылығы мен жоғары термиялық соққыға төзімділігі арқасында SiC керамикалық робот қолы жоғары температура жағдайында ұзақ уақыт бойы сенімді жұмыс істей алады. Ол термиялық кеңеюдің әсеріне төтеп бере алады және жылу кернеуі кезінде оның құрылымдық тұтастығын сақтай алады, осылайша пластинаның орналасуының дәйекті дәлдігін қамтамасыз етеді.

Коррозиялық газдар мен сұйықтықтарға берік төзімділігінің арқасында SiC керамикалық робот қолы өрнектеу, жұқа қабықша тұндыру және ион имплантациясы сияқты агрессивті коррозиялық процестің атмосферасына ұшыраған кезде де жұмысын тұрақты түрде сақтай алады. Бұл коррозияға төзімділік өнімділігі коррозияға байланысты құрамдас бөліктердің зақымдалу қаупін тиімді төмендету және жиі ауыстыру мен техникалық қызмет көрсету қажеттілігін азайту арқылы жартылай өткізгіш пластиналар өндірісінің тиімділігін арттырады.