SiC керамикалық бағыттаушы рельс

Semicorex SiC керамикалық бағыттаушы рельс - бұл жоғары тығыздықтан жасалған дәл сызықты қозғалыс құрамдас бөлігі.кремний карбиді керамикаматериал. Ауа флотациясының технологиясымен және дәл кері байланыс жүйелерімен біріктірілген бағыттаушы рельс іс жүзінде нөлдік үйкеліс пен минималды дірілмен жанаспайтын қозғалысты қамтамасыз етеді.

Кәдімгі металл бағыттаушы рельстерден айырмашылығы, SiC керамикалық бағыттаушы рельстер айтарлықтай жақсартылған термиялық тұрақтылықты, қаттылықты және тегістік өнімділігін ұсынады. Жұмыс кезінде сығылған газ қозғалатын платформа мен бағыттаушы бет арасында динамикалық және статикалық қысымды ауа пленкасын жасайды, механикалық байланыссыз тегіс және жоғары дәлдікпен сызықтық қозғалысқа мүмкіндік береді.

Көрсетілген өнім нанометр деңгейіндегі дәлдік пен ұзақ мерзімді тұрақтылық маңызды болып табылатын кеңейтілген позициялау платформалары мен ауа тірек қозғалыс жүйелері үшін қолайлы жоғары дәлдіктегі құрылымдық дизайнмен ерекшеленеді.

 SiC керамикалық бағыттаушы рельстердің негізгі ерекшеліктері

Өте жеңіл құрылым

Кремний карбидті керамикажоғары беріктікті салыстырмалы түрде төмен тығыздықпен біріктіріп, бағыттаушы рельс жүйесіне ерекше қаттылықты сақтай отырып, жеңіл конструкцияға қол жеткізуге мүмкіндік береді.

Жеңіл дизайн жақсартуға көмектеседі:

* Қозғалыс реакциясының жылдамдығы

* Динамикалық өнімділік

* Жеделдету мүмкіндігі

* Энергия тиімділігі

Бұл SiC керамикалық бағыттаушы рельстерді жоғары жылдамдықты дәлдікті автоматтандыру жүйелеріне өте қолайлы етеді.

Ультра жоғары тұрақтылық

SiC керамикалық бағыттаушы рельстердің маңызды артықшылықтарының бірі олардың керемет құрылымдық тұрақтылығы болып табылады. Материал термиялық және механикалық жүктемелер кезінде деформацияға тамаша қарсылық көрсетеді.

Өте дәлдіктегі өндіріс орталарында тіпті микроскопиялық өлшемдік өзгерістер позициялау дәлдігіне әсер етуі мүмкін. SiC керамикасы ұзақ жұмыс уақытында тұрақты геометриялық өнімділікті сақтауға көмектеседі.

Өте төмен термиялық кеңею коэффициенті

Кремний карбидінің болат немесе алюминий сияқты металдармен салыстырғанда термиялық кеңею коэффициенті өте төмен. Бұл бағыттаушы рельстің температура ауытқуларына ұшыраған кезде де өлшемдік консистенцияны сақтауға мүмкіндік береді.

Төмен термиялық кеңею әсіресе мына жағдайларда маңызды:

* Жартылай өткізгішті литография аппаратурасы

* Дәл оптикалық жүйелер

* Вафельді тексеру платформалары

* Координатты өлшеу жүйелері

* Лазерлік өңдеу жабдықтары

Термиялық тұрақтылық орналасу дәлдігі мен процестің қайталану мүмкіндігін жақсартуға тікелей ықпал етеді.

 Жоғары қаттылық және механикалық беріктік

SiC керамикалық бағыттаушы рельстер өте жоғары қаттылық пен механикалық беріктікке ие. Қатты құрылым жұмыс кезінде иілуді, дірілді және деформацияны азайтады.

Жоғары қаттылық мыналарды қамтамасыз етеді:

* Дәл сызықты қозғалыс

* Тұрақты жүктемені қолдау

* Азайтылған діріл

* Жақсартылған динамикалық дәлдік

Бұл сипаттама микроннан төмен немесе нанометр деңгейінде орналасу дәлдігін талап ететін жоғары деңгейлі қозғалыс жүйелері үшін өте маңызды.

Жоғары тығыздық және тамаша бет сапасы

Тығыз SiC керамикалық құрылымы тамаша тозуға төзімділікті, коррозияға төзімділікті және өлшемдік тұтастықты қамтамасыз етеді. Дәл өңдеу технологиясы бағыттаушы рельс бетіне өте жоғары тегістік пен параллельділікке қол жеткізуге мүмкіндік береді.

Тегістігі мен параллельдігі 1 микронға дейін жетуі мүмкін, бұл өте дәлдіктегі өнеркәсіптік қолданбалардың қатаң талаптарына жауап береді.

Жоғары сапалы беттік әрлеу сонымен қатар ауа мойынтіректері жүйелеріндегі ауа пленкасының тұрақтылығын жақсартады, қозғалыстың тегіс болуына және позициялаудың жақсаруына ықпал етеді.

Ауа мойынтіректері технологиясының артықшылықтары

SiC керамикалық бағыттаушы рельстер әдетте байланыссыз қозғалысқа қол жеткізу үшін ауа флотация технологиясын пайдаланады. Беттердің арасында жұқа қысымды ауа қабатын қалыптастыру арқылы жүйе тікелей механикалық үйкелісті болдырмайды.

Дәстүрлі жылжымалы бағыттаушы жүйелермен салыстырғанда, пневматикалық бағыттаушы рельстер бірнеше маңызды артықшылықтарға ие:

* Үйкеліссіз қозғалыс

* Нөлге жақын діріл

* Бөлшектердің генерациясының төмендеуі

* Механикалық тозу жоқ

* Ультра тегіс қозғалыс

* Төмен техникалық қызмет көрсету талаптары

* Ұзақ пайдалану мерзімі

Бұл артықшылықтар жартылай өткізгішті таза бөлмелер мен дәлдіктегі өндіріс орындарында әсіресе құнды.

SiC керамикалық бағыттаушы рельстерді қолдану

SiC керамикалық бағыттаушы рельстер ультра жоғары қозғалыс дәлдігі мен тұрақтылығын қажет ететін салаларда кеңінен қолданылады, соның ішінде:

* Жартылай өткізгішті пластиналарды өндіру

* Литографиялық жүйелер

* Вафельді тексеру жабдығы

* Дәл оптикалық аспаптар

* Тегіс панельді дисплей өндірісі

* Лазерлік өңдеу жүйелері

* Координаталық өлшеуіш машиналар

* Дәл автоматтандыру платформалары

* Аэроғарыштық дәлдік жабдықтары

Олар жоғары жылдамдықты позициялау, дірілді басу және термиялық тұрақтылық маңызды болып табылатын жетілдірілген жартылай өткізгіш процестер үшін өте қолайлы.