СИК керамикалық қайықтары

Semicorex Sic Ceric Cericaks - бұл қауіпсіз тасымалдау үшін арнайы жасалған, химиялық және термиялық экстремалды ортада жартылай өткізгіш вафлиді қауіпсіз тасымалдау, сақтау және өңдеу үшін арнайы жасалған заманауи тасымалдаушылар. Жартылай өткізгіштер саласы тез арада SIC керамикалық қайықтарын тез арада талап етіп, сенімді, сенімді, және ластануға төзімді, заманауи вафли өндірісіне төзбейтін және маңызды талаптарға қол жеткізді.

Күшті жылу тұрақтылығы және беріктік

SIC керамикалық қайықтарының анықтамасы - бұл өте жоғары жылу тұрақтылығы. SIC керамикалық қайықтары температураны 1600 ° C-тан асады. Ультра төмен жылу кеңею коэффициентіне байланысты, Sic Ceric Coats бұрмалауға және крекингке бейім, қаттылыққа және қаттылыққа, қатаң төзімділікке және қатаң төзімділікке жол бермейді.

Жоғары тазалық және химиялық төзімділік

Sic Ceric Coats ультра жоғары тазалық кремний карбидінен жасалған. Sic Ceramic Coats сонымен қатар химиялық деградацияға, коррозиялық және плазмаға төзімді. SIC керамикалық қайықтарының инертті табиғаты - коррозиялық газдар, реактивті орталар, қышқыл жағдайлар, қайықтың ластануын немесе жұмыс процесіне зиян тигізбейді. SIC-керамикалық қайықтардың ластанбайтын беті ешқандай бөлшектердің пайда болуына немесе ионды сілтіленбейді, сондықтан вафли беті құрылғының жұмысына немесе өнімділігіне кедергі келтіретін қоспалармен қауіп төндірмейді.

Ватферді қауіпсіз және қауіпсіз пайдалану үшін дәл инженерия

SIC керамикалық қайықтары тығыз толеранттылық бойынша шығарылады, олардың әр түрлі диаметрлі вафлиді, оның ішінде 100 мм, 150 мм, 200 мм, 300 мм, 300 мм және одан да көп. SIC қайықтарының құрылымдық дизайны вафлидің дұрыс орналасуына және басқа процеске немесе құралға ауысқан кезде вафлидің шеттерін қорғау үшін өте ыңғайлы, параллизм және біркелкі ұяшық береді. Барлық SIC қайықтарын орнатылған немесе автоматтандыру сипаттамаларына сәйкес келетін немесе сәйкес келетін өзгермелі өлшемдермен жобалануы мүмкін.

Ұзақ қызмет ету және одан да үнемді

ӘЖК дәстүрлі материалдарды (кварц, алюминий) ауыстырады механикалық беріктігін, сынудың қаттылығына және жылу соққыларына қарсы тұрақтайды. Ұзақтықтың бұл деңгейі «сәтсіздікке» дейін ұзақ уақытқа созылады, «сәтсіздікке» дейін, пайдалану кезінде ауыстыру және меншіктің жалпы құны төмен. SIC-тің қызмет ету мерзіміне сәйкестігі уақытты қысқартады және жартылай өткізгіш өндіріс желілеріне өткізу қабілеттілігін төмендетеді.

Жартылай өткізгіш процестерде ашық қосымшалар

Sic Ceramic Coats алдыңғы қатарда өткізгіш процестерде кеңінен қолданылады, мысалы:

LPCVD және PECVD-мен тұндыру

Жылу тотығу

Ионды имплантация

Кеналау және диффузия

Вафли тазалау және химиялық өңдеу

SIC Ceramer Tools атмосферада да, вакуумдық камераларда да, өнімділікті арттыру кезінде ластану қаупін азайтуға және азайтуды көздейді, бұл атмосферада және вакуумдық палаталарда да үйлесімді.