Sic Cantilevervever

Semicorex SIC Cantilever Жанғыштар - бұл жоғары өнімді компоненттер, сонымен қатар жартылай өткізгіш жылу өңдеу жабдықтарында (LPCVD, PECVD, тотығу және диффузиялық пештер) вафлиді тасымалдау үшін және вафлиді тасымалдауға арналған. Бұл Cantilever жастықшалары вафли үшін платформа және қажетті қолдау түрін ұсынады, ол сынғыш вафлилерді жоғары температуралы температуралық процестер арқылы (көбінесе 1200 ° C-ден асады) берік және сенімді тасымалдауды қамтамасыз етеді. Кантивервердің жастықшалары механикалық тұрақтылық, жылу тұрақтылығы және жартылай өткізгіштер үшін коррозиялық қасиеттерін қамтамасыз ететін жоғары тазалық кремний карбидінен (SIC) шығарылады.

Кремний карбиді - бұл өте жақсы термиялық өткізгіштік, жылу кеңеюі және химиялық жауынгерлік ортада сенімді түрде өнер көрсету мүмкіндігі бар супер премиум керамикалық материал. Кантилон карбиді Cantilever-дағы жастықшалар термиялық бұрылуды азайтуға көмектеседі

 және вафлиді жалпақ және оларды номиналды өңдеу жағдайында ұстайтын қозғалыс. Картаның егжей-тегжейлі тұрақтылығы Кантилеверлі жастықшалар контекстінде бөлшектердің ластануы және механикалық қозғалыс мәселелерін азайту үшін маңызды. Бұл мәселелер келтірілген шығынды немесе қымбатқа байланысты және вафлиді ауыстыруға әкелуі мүмкін.

SIC Cantilever-дің монолиттік формасы Механикалық мықтап, жылу біркелкілігін жақсартады, олар композиттерде болуы мүмкін буындар мен әлсіз жақтарды жою кезінде термиялық біркелкілікті жақсартады. Сонымен қатар, жастықшалардың беттік қабаты арнайы бақыланады, ал бөлшектердің пайда болуын азайту үшін, әдетте, айна сапасына жылтыратылады және бұл өте таза.

Диффузия және тотығу процестерінде оттегі, бу және басқа да реактивті газдар; Дәстүрлі материалдар уақыт өте келе еріген немесе деформациялауы мүмкін. SIC-тің химиялық инертті қасиеті қалдықтардың ағып кетуін және коррозияға ұшырамайды және тұрақты процесс және сенімді нәтижелерге ықпал ететін процессте ластануды ұсынады.  SIC Cantilever жастықшаларының құрылымдық тұтастығы жылу мен салқындатудың тез велосипедіне қарамастан тұрақты болып қала береді. Сондықтан олар ұзақ уақыт пайдалану мерзімін техникалық қызмет көрсету немесе бөлшектерді ауыстыру кезінде ұзақ уақыт жұмыс істейді.

Сонымен қатар, SIC төсемдерінің азайтылған массасы мен жеңіл салмағы жылудан тезірек жауап беруге мүмкіндік береді; Осылайша, өнімділік пен энергия тиімділігінің жоғарылауына ықпал ететін салқын жылу және салқындатқыштар, жартылай өткізгіш өндірісінің бәсекеге қабілетті ландшафтындағы барлық негізгі өлшемдер.

SIC Cantilever жастықшаларын әр түрлі конфигурациялар мен өлшемдерде жеткізуге болады, олар әр түрлі пештің дизайны мен вафли өлшемдерін 100 мм-ден 300 мм-ге дейін және үлкенірек етіп орналастыруға болады. OEMS және жабдықтар интеграторлары уақыт өте келе, алдыңғы және артқы процестердегі орналастыру үшін SIC төсемдерінің дәйектілігі мен сенімділігін жоғары бағалайды.

SubicoreX Premium Sic Cantilever ұсынады, бұл материалдық тазалықпен, микроқұрылымдармен және өлшемді төзімділікпен тығыз басқарылады. Біздің озық технологиялық мүмкіндіктеріміз жартылай өткізгіш жылу динамикасы туралы білімімізбен бірге тұрақтылық, тазалық және беріктікке сәйкес келетін немесе одан асып түсетін немесе одан асып түсетін немесе одан асып түсетін немесе одан асып кетуге мүмкіндік береді. Қажет және сенімді болуы керек болған кезде, Semicorex - бұл сапалы SIC компоненттеріне арналған орын.