SiC Консольдық қалақ

Semicorex SiC (Кремний карбиді) консольдық қалақ жартылай өткізгіштерді өндіру процестерінде, әсіресе диффузиялық немесе LPCVD (төмен қысымды химиялық буларды тұндыру) пештерінде диффузия және RTP (жылдам термиялық өңдеу) сияқты процестерде қолданылатын маңызды компонент болып табылады. Ол осы пештердің технологиялық түтігінің ішіндегі пластиналарды қолдау және тасымалдау мақсатына қызмет етеді.

Semicorex SiC Cantilever Paddle негізінен кремний карбидінен тұрады, оның жоғары температураға төзімділігімен және тамаша механикалық қасиеттерімен танымал берік және термиялық тұрақты материал. SiC жартылай өткізгіш пештердің жоғары температуралы технологиялық орталарында кездесетін қатал жағдайларға төтеп беру қабілеті үшін таңдалады. SiC Cantilever Paddle конструкциясы оның түтіктің сыртында бір ұшымен мықтап бекітілген пештің технологиялық түтігіне шығуға мүмкіндік береді. Бұл дизайн пештің ішіндегі жылу ортасына кедергілерді азайта отырып, өңделетін вафлилерге тұрақтылық пен қолдауды қамтамасыз етеді.

SiC Cantilever Paddle диффузия және RTP сияқты әртүрлі жоғары температура процестері кезінде жартылай өткізгіш пластиналарды технологиялық түтік ішінде қауіпсіз тасымалдауға арналған. Оның берік конструкциясы оның осы процестер кезінде кездесетін экстремалды температуралар мен химиялық ортаға тозусыз немесе бұзылмай төтеп бере алатынын қамтамасыз етеді. SiC Cantilever қалақтары өнеркәсіпте жиі қолданылатын жартылай өткізгіш пластинаның өлшемдері мен пішіндерінің кең ауқымымен үйлесімді болу үшін жасалған. Олар көбінесе пештің арнайы конфигурациялары мен технологиялық талаптарды қанағаттандыру үшін реттеледі.