SiC қайығы

Semicorex SiC қайықтары жоғары таза SiC керамикасынан мұқият жасалған, оның теңдесі жоқ термиялық тұрақтылығымен, ерекше механикалық беріктігімен және өзгермейтін химиялық инерттілігімен танымал материал. Бұл қасиеттер оны жартылай өткізгішті дайындаудың қатаң шарттары үшін тамаша таңдау жасайды.

SiC қайықтары материалдың қаттылығы мен тозуға ерекше төзімділігінің арқасында теңдесі жоқ механикалық беріктігі мен беріктігімен мақтана алады. Бұл оларға бірте-бірте тозуға жол бермей, жоғары өнімді жартылай өткізгіштерді өндіру орталарының талап етілетін табиғатына төтеп беруге мүмкіндік береді. Басқа материалдардан айырмашылығы, SiC уақыт өте келе құрылымдық тұтастығын сақтайды, бұл жиі ауыстыру қажеттілігін айтарлықтай төмендетеді және өндірістік операцияларда тоқтап қалуды азайтады, бұл сайып келгенде, жартылай өткізгіш өндірушілер үшін айтарлықтай шығындарды үнемдеуге әкеледі.

SiC химиялық инерттілігі оның жартылай өткізгіш процестерге жарамдылығын реактивті газдардың және хлор мен фтор сияқты жиі қолданылатын материалдардың химиялық шабуылына жоғары төзімді ету арқылы одан әрі нығайтады. Бұл берік қарсылық SiC қайықтарының өңдеу кезінде пластиналарды ластамауын қамтамасыз етеді, осылайша дайындалатын жартылай өткізгіш құрылғылардың тазалығы мен сапасын сақтайды. Химиялық төзімділіктің одан да жоғары деңгейін талап ететін процестер үшін SiC қайықтары химиялық шабуылға қарсы қосымша тосқауыл болып табылатын және бөлшектердің ластану қаупін азайту үшін қайықтың бетін жоғарылататын SiC қосымша қабатымен қапталуы мүмкін.

Бұл қайықтарда қолданылатын SiC керамикасының жоғары тазалығы өте маңызды, өйткені жартылай өткізгіштер өндірісі ең аз қоспалары бар материалдарды талап етеді. Тіпті ластаушы заттардың аз мөлшері пластинаның электрлік қасиеттерін нашарлатып, соңғы құрылғыларда ақауларға әкелуі мүмкін. SiC қайықтары жартылай өткізгіштерді өндіруге тән жоғары температура мен реактивті жағдайларда да технологиялық ортаға ешқандай қоспаларды енгізбеу үшін өте жоғары таза SiC керамикасынан жасалған. Бұл тазалық маңызды процесс қадамдары үшін SiC Boats сенімділігін нығайтады.

SiC қайықтарының әртүрлі жартылай өткізгіш жабдықтармен үйлесімділігі өте маңызды. SiC әмбебаптығы оны жартылай өткізгіш пештер мен реакторлардың әртүрлі типтері талап ететін нақты өлшемдер мен конфигурацияларға сәйкес келтіру үшін дәл өңдеуге мүмкіндік береді, бұл оларды шағын көлемді ғылыми-зерттеу және тәжірибелік-конструкторлық операциялардан бастап ауқымды өндірістік желілерге дейін кең ауқымды қолданбаларға қолайлы етеді. Сонымен қатар, материалдың ерекше жылу өткізгіштігі мен жылуды тарату қасиеттері өңдеу кезінде температураны тиімдірек басқаруға ықпал етеді, жартылай өткізгіш құрылғылардың өнімділігі мен өнімділігін одан әрі арттырады.